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龙图腾网获悉北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利一种锁紧定位装置及掩模传输装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116081203B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310115381.7，技术领域涉及：B65G29/00；该发明授权一种锁紧定位装置及掩模传输装置是由刘颖;关宏武;王浩楠;符瑶;赵东雷设计研发完成，并于2023-02-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种锁紧定位装置及掩模传输装置在说明书摘要公布了：本发明涉及掩模传输技术领域，具体而言，涉及一种锁紧定位装置及掩模传输装置，包括驱动机构、定位销、检测机构和限位机构；所述驱动机构安装于所述固定支撑机构，所述驱动机构的驱动端与所述定位销连接，用于驱动所述定位销插入或脱出所述定位槽口，所述检测机构用于检测所述定位销是否位于所述定位槽口内；所述定位销插入所述定位槽口后，所述限位机构用于对所述定位销进行限位；其能够对掩模传输装置的旋转机构进行高精度地锁紧定位，且锁紧定位完成后不需要手动拆卸，标定完成后也不需要拆除，并且能够提高标定效率和重复定位精度。

本发明授权一种锁紧定位装置及掩模传输装置在权利要求书中公布了：1.一种锁紧定位装置，用于对掩模传输装置的旋转机构（1）进行锁紧定位，所述旋转机构（1）包括旋转电机（101）和定位板（102），所述旋转电机（101）的固定部分固定于固定支撑机构（3）、旋转部分固定于所述定位板（102），所述定位板（102）的外侧面开设有相对称的定位槽口（1021），其特征在于，包括驱动机构（2）、定位销（4）、检测机构（5）和限位机构（6）； 所述驱动机构（2）安装于所述固定支撑机构（3），所述驱动机构（2）的驱动端与所述定位销（4）连接，用于驱动所述定位销（4）插入或脱出所述定位槽口（1021），所述检测机构（5）用于检测所述定位销（4）是否位于所述定位槽口（1021）内； 所述定位销（4）插入所述定位槽口（1021）后，所述限位机构（6）用于对所述定位销（4）进行限位； 还包括曲柄连杆机构（7），所述曲柄连杆机构（7）包括第一连杆（702）、第二连杆（703）、第一铰接块（701）和第二铰接块（704），所述第一连杆（702）的一端设置第一铰接块（701）、另一端通过所述第二铰接块（704）与所述第二连杆（703）的一端铰接，所述第二连杆（703）的另一端与所述固定支撑机构（3）铰接，且所述第二连杆（703）上设置所述定位销（4）； 所述驱动机构（2）包括伺服电机（201）和偏心轴（202），所述偏心轴（202）的一端与所述伺服电机（201）的输出轴连接、另一端与所述第一铰接块（701）铰接，所述伺服电机（201）用于带动所述第一铰接块（701）偏心旋转，同时带动所述定位销（4）跟随所述曲柄连杆机构（7）曲线运动而能够插入或脱出所述定位槽口（1021）。

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