上海科技大学吴涛获国家专利权
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龙图腾网获悉上海科技大学申请的专利多电极驱动的高阶模式压电微机械超声换能器及应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115889153B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211285363.5,技术领域涉及:B06B1/06;该发明授权多电极驱动的高阶模式压电微机械超声换能器及应用是由吴涛;刘康福;陆瑶卿设计研发完成,并于2022-10-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本多电极驱动的高阶模式压电微机械超声换能器及应用在说明书摘要公布了:本发明的一个技术方案是提供了一种多电极驱动的高阶模式压电微机械超声换能器。本发明的另一个技术方案是提供了一种前述的多电极驱动的高阶模式压电微机械超声换能器的应用。本发明提供了一种多电极驱动的基于高阶模式的压电微机械超声换能器。在优选的驱动电极设计下,n阶模式的发射灵敏度大约是一阶模式声压的n2倍,同时辐射方向性也更为集中。高阶模式的压电微机械超声换能器解决了一阶模式的压电微机械超声换能器的发射声压低,发射效率低,抗串扰能力差的问题,因而高阶模式的压电微机械超声换能器在形成大规模高方向性的阵列上具有显著优势。
本发明授权多电极驱动的高阶模式压电微机械超声换能器及应用在权利要求书中公布了:1.一种多电极驱动的高阶模式压电微机械超声换能器,其特征在于,包括多层悬空薄膜结构,对于采用单压电层结构的多层悬空薄膜结构,该多层悬空薄膜结构至少包括压电层、弹性层以及电极层,其中: 压电层为压电材料层; 弹性层为非压电材料叠层,或为无电压驱动的压电材料叠层; 电极层,用于形成多层电极组,在压电层上、下两侧均有一层电极组; 在施加外电场时,在上、下两侧的电极组之间的压电层产生应力应变,同时,弹性层不受电场所影响;基于压电层与弹性层之间应力的差异,多层悬空薄膜结构发生弯曲; 对于采用n压电层的多层悬空薄膜结构,n≥2,该多层悬空薄膜结构至少包括n层压电层、弹性层以及电极层,其中: 压电层为压电材料层; 弹性层为非压电材料叠层,或为无电压驱动的压电材料叠层; 电极层,用于形成多层电极组,在每层压电层上、下两侧均有一层电极组; 在施加外电场时,位于上、下两侧的电极组之间的压电层产生应力应变,相邻的压电层产生的应力相反;基于相邻两个压电层之间应力的差异,多层悬空薄膜结构发生弯曲; 当电极组中的电极使压电层所产生应力分布越符合一阶对称模式、或三阶对称模式、或五阶对称模式的应力分布时,越有利于激励该特征模式,通过多电极激励方式来有效激励高阶模式。
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