北京北方华创微电子装备有限公司王昭获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种支撑装置、干燥装置及清洗机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115483140B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211171175.X，技术领域涉及：H01L21/673；该发明授权一种支撑装置、干燥装置及清洗机是由王昭;赵宏宇;王广永;马宏帅设计研发完成，并于2022-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种支撑装置、干燥装置及清洗机在说明书摘要公布了：本申请公开了一种支撑装置、干燥装置及清洗机，支撑装置用于支撑晶圆，包括至少两个相对设置的支撑组件，支撑组件包括位于顶部的多个限位齿，限位齿沿支撑组件的长度方向排列，相邻两个限位齿之间形成齿槽；支撑组件中的至少一个还包括设置于齿槽旁侧并采用吸水材料制作的支撑部；支撑部的顶面高于齿槽的底面，并且低于限位齿的顶部，用于当晶圆被插入齿槽中时对晶圆的端面进行支撑。本申请的支撑装置，晶圆两个侧面通过两侧的限位齿进行限位，晶圆的端面支撑在支撑部上，由于支撑部采用吸水材料制作，晶圆上残留的水可以被吸水材料吸走。该支撑装置的支撑部对应的接触点不需要压力泵进行辅助干燥，结构简单，成本低。
本发明授权一种支撑装置、干燥装置及清洗机在权利要求书中公布了：1.一种支撑装置，用于支撑晶圆，所述支撑装置包括至少两个相对设置的支撑组件，其特征在于， 所述支撑组件包括位于顶部的多个限位齿，所述限位齿沿所述支撑组件的长度方向排列，相邻两个所述限位齿之间形成齿槽； 所述支撑组件中的至少一个还包括设置于所述齿槽旁侧并采用吸水材料制作的支撑部；所述支撑部的顶面高于所述齿槽的底面，并且低于所述限位齿的顶部，用于当晶圆被插入所述齿槽中时对所述晶圆的端面进行支撑。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号