北京北方华创微电子装备有限公司郝云鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利定位工装和机械手的位置校准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115332139B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211054907.7，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权定位工装和机械手的位置校准方法是由郝云鹏;唐鹏设计研发完成，并于2022-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本定位工装和机械手的位置校准方法在说明书摘要公布了：本申请公开一种定位工装和机械手的位置校准方法，定位工装包括基座、夹持组件和定位组件；基座用于可拆卸地设置于半导体工艺设备中的承载盘的承载面的定位位置上；夹持组件包括支撑件和夹紧件，支撑件滑动设置于基座上，夹紧件设置于支撑件背离基座的一侧，支撑件上设有定位部，定位部用于和机械手的对应位置配合，以对机械手进行定位，夹紧件和支撑件用于夹持固定机械手；定位组件设置于支撑件上，基座上设有限位部，定位组件和限位部配合，用以将支撑件固定于基座的校准位置处。上述定位工装可以解决目前对机械手进行位置纠偏的方式存在精度较差，且容易对晶圆的洁净度产生严重不良影响的问题。
本发明授权定位工装和机械手的位置校准方法在权利要求书中公布了：1.一种定位工装，用于对半导体工艺设备中的机械手进行位置校准，其特征在于，所述定位工装包括基座、夹持组件和定位组件； 所述基座用于可拆卸地设置于所述半导体工艺设备中的承载盘的承载面的定位位置上； 所述夹持组件包括支撑件和夹紧件，所述支撑件滑动设置于所述基座上，所述夹紧件设置于所述支撑件背离所述基座的一侧，所述支撑件上设有定位部，所述定位部用于和所述机械手的对应位置配合，以对所述机械手进行定位，所述夹紧件和所述支撑件用于夹持固定所述机械手； 所述定位组件设置于所述支撑件上，所述基座上设有限位部，所述定位组件和所述限位部配合，用以将所述支撑件固定于所述基座的校准位置处。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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