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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种特种气体安全控制装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117305819B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311269903.5，技术领域涉及：C23C16/52；该发明授权一种特种气体安全控制装置是由刘畅;荣延栋;胡云龙;刘旭设计研发完成，并于2022-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种特种气体安全控制装置在说明书摘要公布了：本发明实施例提供了一种特种气体安全控制方法和一种半导体工艺设备，该方法包括：获取腔室的压力值；在压力值大于预设压力阈值的情况下，当需打开第二气体阀门和第三气体阀门时，控制第一电路断开，第二电路和第三电路接通，使第一气体阀门关闭、第二气体阀门和第三气体阀门打开；当需打开第一气体阀门时，控制第一电路闭合，第二电路和第三电路断开，使第一气体阀门打开、第二气体阀门和第三气体阀门关闭。通过将阀门互锁加入电路设计中，使第一气体分别与第二气体、第三气体阀门不会同时开启，从而避免了软件控制失效的风险，防止特种气体之间发生化学反应生成副产物，造成硬件的损坏和人员的伤害，杜绝安全隐患，保护系统和人员安全。

本发明授权一种特种气体安全控制装置在权利要求书中公布了：1.一种特种气体安全控制装置，其特征在于，应用于半导体工艺设备，所述半导体工艺设备包括工艺腔室；所述控制装置包括电连接的控制电路和控制器； 所述控制电路包括： 第一电路，用于控制第一气体对应阀门的通断； 第二电路，用于控制第二气体对应阀门的通断； 第三电路，用于控制第三气体对应阀门的通断； 所述控制器用于： 获取所述工艺腔室的压力值信号； 在所述压力值大于预设压力阈值的情况下，当需要打开所述第二气体对应阀门和所述第三气体对应阀门时，控制所述第一电路断开，控制所述第二电路和所述第三电路接通，以使所述第一气体对应阀门关闭、所述第二气体对应阀门和所述第三气体对应阀门打开；当需要打开所述第一气体对应阀门时，控制所述第一电路闭合，以及控制所述第二电路和所述第三电路断开，以使所述第一气体对应阀门打开、所述第二气体对应阀门和所述第三气体对应阀门关闭；以使所述工艺腔室的压力值大于所述预设压力阈值时，所述第一气体对应阀门与所述第二气体对应阀门不会同时开启，所述第一气体对应阀门与所述第三气体对应阀门不会同时开启，以防止所述第一气体、所述第二气体和所述第三气体之间发生化学反应生成副产物。

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