株式会社斯库林集团竹原弘耕获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利热处理用基座及热处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115831806B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210835609.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权热处理用基座及热处理装置是由竹原弘耕设计研发完成，并于2022-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本热处理用基座及热处理装置在说明书摘要公布了：本发明的目的在于提供一种构成简单，且能防止闪光照射时的衬底的跳跃及破裂的热处理用基座及热处理装置。热处理用基座74在通过从闪光灯对衬底照射闪光而进行半导体衬底W的热处理时保持半导体晶圆W，具备：保持板75，具有平面状的保持面75a；及多个衬底支撑销77，立设在保持面75a上。在保持板75的至少一个衬底支撑销77的立设位置周围形成缝隙78。缝隙78具有至少一个曲部78t。
本发明授权热处理用基座及热处理装置在权利要求书中公布了：1.一种热处理用基座，其特征在于，通过从闪光灯对衬底照射闪光而进行所述衬底的热处理时保持所述衬底，具备： 保持板，具有平面状的保持面；及 多个衬底支撑体，立设在所述保持面上；且 在所述保持板的至少一个所述衬底支撑体的立设位置周围形成缝隙， 所述缝隙具有围绕至少一个所述衬底支撑体的曲部或角部， 所述缝隙是使所述保持板上下贯通的缺口。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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