株式会社斯库林集团筱原智之获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底洗净装置及衬底洗净方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115588628B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210773648.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权衬底洗净装置及衬底洗净方法是由筱原智之;石井淳一;中村一树;冈田吉文;髙桥拓马;筱原敬;冲田展彬设计研发完成，并于2022-07-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底洗净装置及衬底洗净方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种衬底洗净装置及衬底洗净方法。通过将洗净工具接触于由第1保持部保持的衬底的下表面中央区域来将下表面中央区域洗净。通过将洗净工具接触于由第2保持部旋转的衬底的下表面外侧区域来将衬底的下表面外侧区域洗净。在下表面中央区域的洗净时，在不保持衬底的状态下使第2保持部绕铅直轴旋转。或，在下表面中央区域的洗净时，通过配置在洗净工具与第2保持部之间的气体喷出部从只离开衬底特定距离的第1高度向衬底喷出气体，且在下表面中央区域的干燥时，通过气体喷出部从比第1高度更接近衬底的第2高度向衬底喷出气体。
本发明授权衬底洗净装置及衬底洗净方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底洗净装置，具备： 第1保持部，具有基准位置，以衬底的中心位于所述基准位置的方式保持所述衬底； 第2保持部，构成为能绕铅直轴旋转，保持所述衬底的下表面中央区域； 洗净工具，通过接触于由所述第1保持部保持的所述衬底的所述下表面中央区域来将所述下表面中央区域洗净，且通过接触于由所述第2保持部旋转的所述衬底的包围所述下表面中央区域的下表面外侧区域来将所述下表面外侧区域洗净；及 可动台座，设置着所述第2保持部及所述洗净工具，以于所述衬底在所述第1保持部与所述第2保持部之间交接时，在俯视下，所述第2保持部与所述第1保持部的所述基准位置重叠，且在所述下表面中央区域的洗净时，在所述俯视下，所述洗净工具与所述第1保持部的所述基准位置重叠的方式，在水平面内移动；且 所述第2保持部和所述洗净工具与所述可动台座一起在水平面内一体地移动； 所述第2保持部在所述下表面中央区域的洗净时，在不保持所述衬底的状态下旋转。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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