杰宜斯科技有限公司白承大获国家专利权
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龙图腾网获悉杰宜斯科技有限公司申请的专利基板清洗装置及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115223914B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210416659.X，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权基板清洗装置及其控制方法是由白承大;许今东;金成烨;孙在焕;金南辰;朴峻求设计研发完成，并于2022-04-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板清洗装置及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了基板清洗装置及其控制方法，基板清洗装置的特征在于，包括：真空卡盘部，用于放置晶圆；环形盖部，与晶圆的卡环部对置；扩张机模块，以能够使环形盖部移动的方式设置，并且对卡环部向真空卡盘部侧施加压力，以使晶圆中晶粒的间隔扩大；以及卡盘模块，设置于真空卡盘部，以将被扩张机模块施加压力的环形盖部限制在真空卡盘部。
本发明授权基板清洗装置及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种基板清洗装置，其特征在于，包括： 真空卡盘部，用于放置晶圆； 环形盖部，与所述晶圆的卡环部对置； 扩张机模块，以能够使所述环形盖部移动的方式设置，并且对所述卡环部向所述真空卡盘部侧施加压力，以使所述晶圆中晶粒的间隔扩大；以及 卡盘模块，设置于所述真空卡盘部，以将被所述扩张机模块施加压力的所述环形盖部限制在所述真空卡盘部， 所述扩张机模块包括： 扩张机头部；以及 多个扩张机臂部，与所述扩张机头部连接，并且具备用于把持所述环形盖部来使所述环形盖部移动而能够插入所述环形盖部的外侧面的钩销部。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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