株式会社国际电气笠松健太获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社国际电气申请的专利反应管、处理装置、和半导体装置的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115132560B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210273408.0，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权反应管、处理装置、和半导体装置的制造方法是由笠松健太;平野敦士;山本哲夫;佐佐木隆史设计研发完成，并于2022-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本反应管、处理装置、和半导体装置的制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种反应管、处理装置、和半导体装置的制造方法，减小处理室的基板设置区域中的压力差，并使从排出部排出的气体的流动均匀。反应管构成为在内部形成有处理室，该处理室在一端设置有气体供给部且在另一端设置有排出部，具备调节部，该调节部构成为能够抑制从排出部排出的气体的流动，利用该调节部对处理室中的从气体供给部到排出部的气体流动，从而使从排出部排出的气体的流动均匀。
本发明授权反应管、处理装置、和半导体装置的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种反应管，其特征在于， 在内部形成有处理室，该处理室在一端设置有气体供给部并在另一端设置有排出部， 具备调节部，该调节部为了抑制从所述排出部排出的气体的流动，构成为至少确保所述排出部的横向宽度地比所述排出部向外侧突出， 所述调节部构成为在所述排出部的上下方向上从所述处理室朝向外侧的方向的厚度不同。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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