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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利台车和基片处理装置的构成部件的支承方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114664712B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111508143.X，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权台车和基片处理装置的构成部件的支承方法是由藤田裕人;藤原润设计研发完成，并于2021-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本台车和基片处理装置的构成部件的支承方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种台车和基片处理装置的构成部件的支承方法。本发明的台车，其用于在基片处理装置的外部支承通过向横向滑动而能够被取出至外部的该装置的构成部件，包括：台车主体，其具有车轮而能够在地面上移动，且包括支承所述构成部件的第1支承部；和第2支承部，其以能够在使所述台车的所述横向的宽度成为第1长度的第1位置与使该横向的宽度成为比第1长度大的第2长度的第2位置之间移动的方式与所述台车主体连接，用于至少在所述第2位置与所述第1支承部一起支承所述构成部件。根据本发明，在将基片处理装置的构成部件从该装置取出到外部并支承于台车时，能够在必要时以外削减台车所占的空间。

本发明授权台车和基片处理装置的构成部件的支承方法在权利要求书中公布了：1.一种台车，其用于在基片处理装置的外部支承通过向横向滑动而能够被取出至外部的该基片处理装置的构成部件，其特征在于，包括： 台车主体，其具有车轮而能够在地面上移动，且包括支承所述构成部件的第1支承部；和 第2支承部，其以能够在使所述台车的所述横向的宽度成为第1长度的第1位置与使该横向的宽度成为比第1长度大的第2长度的第2位置之间移动的方式与所述台车主体连接，用于至少在所述第2位置与所述第1支承部一起支承所述构成部件， 当使所述构成部件被取出的横向为后方时， 所述第1支承部和所述第2支承部的组在左右方向上分开地设置，以分别支承所述构成部件的左右侧， 各所述组中的第1支承部和所述第2支承部以在前后方向上排列的方式设置，并且该前后方向上的相对位置是可变更的， 设置有由能够相互滑动的第1滑动部件和第2滑动部件构成的滑动部， 在所述第1支承部、所述第2支承部分别设置有所述第1滑动部件、所述第2滑动部件， 所述第2支承部包括：在前后方向上设置于所述第1支承部侧的中间支承部；和相对于该中间支承部设置于与所述第1支承部相反的一侧的端部侧支承部， 所述滑动部设置有多个， 在所述第1支承部、所述中间支承部分别设置有一个所述滑动部中的所述第1滑动部件、所述第2滑动部件，该第1支承部和该中间支承部的前后方向上的相对位置是可变更的， 在所述端部侧支承部、所述中间支承部分别设置有另一个所述滑动部中的所述第1滑动部件、所述第2滑动部件，该端部侧支承部和该中间支承部的前后方向上的相对位置是可变更的。

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