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奥加诺株式会社茑野恭平获国家专利权

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龙图腾网获悉奥加诺株式会社申请的专利超纯水供给系统、控制装置以及程序获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116133762B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180055028.3,技术领域涉及:B08B3/10;该发明授权超纯水供给系统、控制装置以及程序是由茑野恭平;中居巧;菅原广设计研发完成,并于2021-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。

超纯水供给系统、控制装置以及程序在说明书摘要公布了:超纯水供给系统具有:流通管210,使超纯水从超纯水制造设备100流向清洗装置120;处理单元110,设置于流通管210上;流通管220,在超纯水制造设备100与处理单元110之间从流通管210分支出来,使超纯水流向清洗装置120;水量控制部310,设置于流通管220从流通管210分支的第一分支部;水量控制部320,对从流通管220流向清洗装置120的超纯水进行控制;比较部510,比较第一量与第二量,第一量是由处理单元110处理后的超纯水中含有的杂质的量,所述第二量是未被处理单元110处理的超纯水中含有的杂质的量;以及流路控制部520,根据比较的结果来控制水量控制部310、320。

本发明授权超纯水供给系统、控制装置以及程序在权利要求书中公布了:1.一种超纯水供给系统,具有: 第一流通管,其使超纯水从超纯水制造设备流向清洗装置; 处理单元,其设置于所述第一流通管上,对所述超纯水进行处理; 第二流通管,其在所述超纯水制造设备与所述处理单元之间从所述第一流通管分支出来,使超纯水流向所述清洗装置; 第一水量控制部,其设置于所述第二流通管从所述第一流通管分支的第一分支部; 第二水量控制部,其对从所述第二流通管流向所述清洗装置的超纯水进行控制; 比较部,其比较第一量与第二量,所述第一量是由所述处理单元处理后的超纯水中含有的杂质的量,所述第二量是未被所述处理单元处理的超纯水中含有的杂质的量;以及 流路控制部,其根据所述比较部的比较结果,来控制所述第一水量控制部和所述第二水量控制部。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人奥加诺株式会社,其通讯地址为:日本国东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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