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龙图腾网获悉意法半导体股份有限公司申请的专利用于MEMS快门的角压电致动器及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113860253B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110726847.8，技术领域涉及：B81B3/00；该发明授权用于MEMS快门的角压电致动器及其制造方法是由D·朱斯蒂;M·默利设计研发完成，并于2021-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于MEMS快门的角压电致动器及其制造方法在说明书摘要公布了：本公开的各实施例涉及用于MEMS快门的角压电致动器及其制造方法。一种MEMS致动器，包括主体，该主体具有中心部分和外围部分，中心部分能够耦合到衬底，外围部分当中心部分耦合到衬底时悬挂在衬底上方。外围部分具有围绕中心部分延伸并形成连续布置的膜的可变形结构。MEMS致动器包括承载结构和对应的压电致动器。承载结构在该承载结构的顶部处被固定到可变形结构并且横向地界定对应的空腔，每个空腔具有面向主体的中心部分并且在顶部处由膜封闭的横向开口。膜的固定部段固定到下面的承载结构，并且悬挂部段相对于下面的承载结构横向偏移。压电致动器是可控制的，以引起对应的膜的变形和承载结构围绕主体的中心部分的旋转。

本发明授权用于MEMS快门的角压电致动器及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种微机电致动器，包括： 主体，包括中心部分和外围部分，所述中心部分能够耦合到衬底，其中，当所述中心部分耦合到所述衬底时，所述外围部分悬挂在所述衬底上方，并且其中，所述外围部分包括可变形结构，所述可变形结构围绕所述中心部分延伸并且形成连续布置的多个膜，所述外围部分在静止时具有螺旋平面形状；以及 多个承载结构，每个承载结构在该承载结构的顶部处被固定到所述可变形结构、并且横向地界定对应的空腔，所述对应的空腔具有面向所述主体的所述中心部分的横向开口、并且在所述对应的空腔的顶部处由对应的膜封闭，所述对应的膜包括固定部段和悬挂部段，所述固定部段被附贴到下面的承载结构，所述悬挂部段相对于所述下面的承载结构横向地偏移、并且界定所述空腔的所述横向开口； 每个承载结构具有与该承载结构关联的对应的压电致动器；以及 其中，所述压电致动器是可电控的，以便引起所述对应的膜的变形，所述变形包括所述悬挂部段的部分的向上弯曲，所述膜的所述悬挂部段的所述部分的向上弯曲引起所述承载结构围绕所述主体的所述中心部分的旋转。

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