株式会社岛津制作所小崎纯一郎获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社岛津制作所申请的专利阀控制装置以及推断装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115111422B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110288705.8,技术领域涉及:F16K31/04;该发明授权阀控制装置以及推断装置是由小崎纯一郎设计研发完成,并于2021-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本阀控制装置以及推断装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种阀控制装置以及推断装置,阀控制装置可谋求调压控制的精度提升。在阀控制装置1b中,运算部210在朝腔室导入气体时将阀体12的开度θr固定成一定,并基于阀体12的开度θr已被固定成一定时的压力测量值Pr的变化信息,推断真空阀1的排气信息。而且,调压控制部21基于所述排气信息来控制阀体12的开度,进行腔室的调压控制。
本发明授权阀控制装置以及推断装置在权利要求书中公布了:1.一种阀控制装置,是基于安装有真空阀的腔室的压力测量值与所述腔室的压力目标值来控制阀体开度,进行所述腔室的调压的阀控制装置,其中,包括: 开度设定部,在朝所述腔室导入气体时将所述阀体开度固定成一定;以及 推断部,在所述阀体开度已被固定成一定的状态中,基于算出的量与差量的比,推断所述真空阀的排气信息,所述算出的量是基于不同时刻的第一时刻以及第二时刻的压力测量值以及不同时刻压力测量值的经时的压力变化率的差所算出的量,所述差量是所述第一时刻与所述第二时刻的所述压力测量值的差量; 所述阀控制装置基于所述排气信息来控制所述阀体开度,进行所述腔室的调压控制。
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