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汉阳大学校产学协力团郑在景获国家专利权

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龙图腾网获悉汉阳大学校产学协力团申请的专利包括结晶IZTO氧化物半导体的薄膜晶体管及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115088083B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180014080.4,技术领域涉及:H10D30/67;该发明授权包括结晶IZTO氧化物半导体的薄膜晶体管及其制造方法是由郑在景;温努日;金洸福设计研发完成,并于2021-02-16向国家知识产权局提交的专利申请。

包括结晶IZTO氧化物半导体的薄膜晶体管及其制造方法在说明书摘要公布了:提供了一种结晶IZTO氧化物半导体和包括该结晶IZTO氧化物半导体的薄膜晶体管。该薄膜晶体管包括:栅极;与栅极的上部或下部重叠并具有六方晶粒的结晶In‑Zn‑Sn氧化物IZTO沟道层;设置在栅极和IZTO沟道层之间的栅绝缘膜,以及连接至IZTO沟道层的各端的源极和漏极。

本发明授权包括结晶IZTO氧化物半导体的薄膜晶体管及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种薄膜晶体管,包括: 栅极; 结晶In-Zn-Sn氧化物(IZTO)沟道层,所述结晶In-Zn-Sn氧化物(IZTO)沟道层与所述栅极的上部或下部重叠并具有六方晶粒; 栅绝缘层,所述栅绝缘层设置在所述栅极和所述IZTO沟道层之间;以及 源极和漏极,所述源极和漏极分别连接至所述IZTO沟道层的两端, 其中所述六方晶粒是具有ZnOkIn2O3相的晶粒,其中k为3至11的整数,以及 其中所述IZTO沟道层还具有作为亚固相的xZnIn2O4-1-xZn2SnO4,xZnIn2O4-1-xZn2SnO4为尖晶石相,其中0x0.45。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人汉阳大学校产学协力团,其通讯地址为:韩国首尔;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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