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龙图腾网获悉中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司石油工程技术研究院;中国电子科技集团公司第十三研究所申请的专利MEMS陀螺正交耦合在片自动测试装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114910096B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110177426.4，技术领域涉及：G01C25/00；该发明授权MEMS陀螺正交耦合在片自动测试装置及方法是由丁士东;郑奕挺;倪卫宁;胡越发;宗艳波;卢新艳;王宁;盛百城设计研发完成，并于2021-02-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本MEMS陀螺正交耦合在片自动测试装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种MEMS陀螺正交耦合在片自动测试装置，其包含：测试模块，其满足圆片级正交耦合测试要求，集成在低寄生参数探卡上，通过低寄生探针与待测陀螺连接，用于对所述待测陀螺进行正交耦合测试；采集与配置模块，其与所述测试模块连接，用于对所述测试模块进行参数配置，并采集所述待测陀螺的驱动信号以及检测信号；控制模块，其与所述采集与配置模块连接，用于依据所述驱动信号以及所述检测信号计算得到所述待测陀螺的正交耦合数据。本发明能够在圆片级对陀螺正交耦合进行精确、批量测试，剔除正交耦合不合格芯片，并且，避免了不合格芯片进入下一生产环节，缩短了产品迭代周期，提高了生产效率，降低了生产成本。

本发明授权MEMS陀螺正交耦合在片自动测试装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS陀螺正交耦合在片自动测试装置，其特征在于，所述装置包含： 测试模块，其满足圆片级正交耦合测试要求，集成在低寄生参数探卡上，通过低寄生探针与待测陀螺连接，用于对所述待测陀螺进行正交耦合测试，其中，所述测试模块封装在具备高可靠以及低寄生特性的陶瓷管壳中，所述低寄生探针采用铍铜材料制成； 采集与配置模块，其与所述测试模块连接，用于对所述测试模块进行参数配置，并采集所述待测陀螺的驱动信号以及检测信号； 控制模块，其与所述采集与配置模块连接，用于依据所述驱动信号以及所述检测信号计算得到所述待测陀螺的正交耦合数据； 所述测试模块包含：闭环驱动单元，其与所述待测陀螺连接，用于对所述待测陀螺进行驱动闭环控制，使得所述待测陀螺实现稳定振幅谐振；检测单元，其与所述待测陀螺连接，用于检测得到所述待测陀螺的所述检测信号； 所述闭环驱动单元包含依次连接的：第一电容电压转换单元、第一模数转换单元、第一带通滤波单元、自动增益控制单元以及数模转换单元，其中，所述第一电容电压转换单元的输入端通过连接线2与所述待测陀螺连接，所述数模转换单元的输出端通过连接线1与所述待测陀螺连接； 所述检测单元包含依次连接的：第二电容电压转换单元、第二模数转换单元以及第二带通滤波单元，其中，所述第二电容电压转换单元的输入端与所述待测陀螺连接； 所述待测陀螺平稳谐振时，通过以下表达式得到所述驱动信号： Dr＝Ad×sinωdt 通过以下表达式得到所述待测陀螺的正交耦合数据： 式中：Qu为待测陀螺正交耦合；Se为待测陀螺的检测信号；Dr为待测陀螺的驱动信号；Ad为振幅；ωd为谐振频率； 所述装置支持陀螺频率高达30kHz，驱动电压最高8V，噪声50zFsqrtHz。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司石油工程技术研究院;中国电子科技集团公司第十三研究所，其通讯地址为：100728 北京市朝阳区朝阳门北大街22号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。