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龙图腾网获悉上海科技大学申请的专利聚焦扫描式脉冲激光薄膜沉积装置以及沉积方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112760600B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110068553.0，技术领域涉及：C23C14/28；该发明授权聚焦扫描式脉冲激光薄膜沉积装置以及沉积方法是由袁凯笛设计研发完成，并于2021-01-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本聚焦扫描式脉冲激光薄膜沉积装置以及沉积方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种聚焦扫描式脉冲激光薄膜沉积装置以及沉积方法，利用汇聚透镜将准直激光汇聚到0.01mm量级，焦点落在靶材上，达到106Wcm2以上的平均功率密度和109Wcm2以上的峰值功率密度，使固态靶材表面原子气化从而实现样品处薄膜沉积。该设备通过X、Y方向的振镜，使光斑在靶材表面进行面扫描；再通过Z方向的实时调节以使靶面的光斑始终处于焦点位置。靶材位置也可放置多种材料，通过激光开合、输出功率与两组振镜及Z方向调节机构的联动，以实现多组分薄膜的沉积。激光器不使用有毒有害气体、沉积过程在时间上均匀性好，可以在不换靶的情况下自由调节所沉积样品的化学组分，提高了薄膜沉积的可控性与便捷性。

本发明授权聚焦扫描式脉冲激光薄膜沉积装置以及沉积方法在权利要求书中公布了：1.一种聚焦扫描式脉冲激光薄膜沉积装置，其特征在于，包括脉冲光纤激光器（1）、准直镜（2）、X方向振镜（4）、Y方向振镜（5）、汇聚透镜（6）、视窗（7）、靶材（8）、Z方向调节机构（10）、控制器以及真空腔体（11）；脉冲光纤激光器（1）所发出的激光经过准直镜（2）后输出准直光，准直光入射到X方向振镜（4）上，经X方向振镜（4）反射入Y方向振镜（5），再经Y方向振镜（5）反射至汇聚透镜（6），通过汇聚透镜（6）后成为汇聚光束，汇聚光束通过真空腔体（11）上的视窗（7）导入真空腔体（11）内，通过Z方向调节机构（10）调节靶材（8）与汇聚透镜（6）在光轴方向上的相对位置，待薄膜沉积样品（9）正对靶材（8）表面，控制器与脉冲光纤激光器（1）通信，控制器输出控制信号至X方向振镜（4）、Y方向振镜（5）和Z方向调节机构（10），使汇聚光束焦点刚好落在靶材（8）的表面，焦点处的光斑峰值功率密度超过靶材（8）的气化阈值，从而使靶材（8）上的靶料挥发，对样品（9）进行薄膜沉积； 所述靶材（8）上间隔安装数种不同靶料，控制器制定扫描方案，通过脉冲光纤激光器（1）开合、脉冲光纤激光器（1）输出功率大小、X方向振镜（4）、Y方向振镜（5）及Z方向调节机构（10）的联动，控制每种靶料的挥发速率，实现多组分薄膜的均匀沉积。

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