株式会社迪思科庄司启一获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利加工装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112103229B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010522605.2,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权加工装置是由庄司启一设计研发完成,并于2020-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本加工装置在说明书摘要公布了:提供加工装置,其能够判定有无收纳于盒内的各层的晶片以及在夹持了晶片之后是否适当地抽出,能够在适当的位置保持晶片。加工装置的搬送单元包含对被加工物进行夹持的夹持部以及能够使夹持部在高度方向和相对于盒的进退方向上移动的搬送臂。夹持部包含对被加工物的下表面进行支承的支承部、与被加工物的上表面接触而与支承部之间夹持被加工物的按压部以及使支承部与按压部相对地远离和接近的驱动单元。搬送单元还包含光反射型传感器,该光反射型传感器固定于夹持部且设置于与夹持部夹持被加工物时的高度相同的高度,朝向收纳于盒中的被加工物照射光。
本发明授权加工装置在权利要求书中公布了:1.一种加工装置,其中, 该加工装置具有: 保持工作台,其对被加工物进行保持; 加工单元,其对该保持工作台所保持的被加工物进行加工; 盒,其设置于盒台,对多个被加工物进行收纳; 搬送单元,其配设成能够插入至该盒内,相对于该盒将被加工物搬出搬入;以及 控制单元,其对该保持工作台、该加工单元以及该搬送单元进行控制, 该搬送单元包含: 夹持部,其对被加工物进行夹持;以及 搬送臂,其能够使该夹持部在高度方向和相对于盒的进退方向上移动, 该夹持部包含: 支承部,其对被加工物的下表面进行支承; 按压部,其与被加工物的上表面接触,与该支承部之间夹持被加工物;以及 驱动单元,其使该支承部与该按压部相对地远离和接近, 该搬送单元包含光反射型传感器,该光反射型传感器固定于该夹持部且设置于与该夹持部夹持被加工物时的高度相同的高度,朝向收纳于盒中的被加工物照射光, 该控制单元包含: 夹持光量记录部,其记录该夹持部夹持了收纳于该盒中的被加工物的阶段的反射光量; 抽出光量记录部,其记录为了将被加工物从该盒中抽出而使该夹持部远离该盒的阶段的反射光量;以及 抽出判断部,其在该夹持光量记录部和该抽出光量记录部所记录的光量之差超过阈值的情况下,判断为未将被加工物适当地抽出,并且在该夹持光量记录部和该抽出光量记录部所记录的光量之差未超过阈值的情况下,判断为已将被加工物适当地抽出。
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