株式会社迪思科现王园二郎获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利卡盘工作台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111599739B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010095934.3，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权卡盘工作台是由现王园二郎设计研发完成，并于2020-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本卡盘工作台在说明书摘要公布了：提供卡盘工作台，即使未利用清洗磨具对保持面进行清洗，也将保持面维持在未附着加工屑的干净的状态，利用磨削或研磨加工使卡盘工作台所保持的被加工物形成为均匀的厚度。卡盘工作台3具有：多孔板30，其具有对被加工物进行吸引保持的保持面30a；框体，其具有使保持面露出而对多孔板进行收纳的凹部310；槽，其形成于框体的凹部的底面上；以及提供路，其将槽与流体提供源连通，并且，多孔板具有剖面为倒碗状的倒碗状凹部，倒碗状凹部按照当多孔板被收纳于凹部时与槽对应的方式形成于多孔板的与保持面相反的相反面上，使槽与流体提供源连通而提供至倒碗状凹部的流体从倒碗状凹部呈放射状朝向保持面流动，使流体从保持面喷出。
本发明授权卡盘工作台在权利要求书中公布了：1.一种卡盘工作台，其具有对被加工物进行吸引保持的保持面，其中， 该卡盘工作台具有： 多孔板，其具有该保持面； 框体，其具有使该保持面露出而对该多孔板进行收纳的凹部； 槽，其形成于该框体的该凹部的底面上；以及 提供路，其将该槽与流体提供源连通， 并且，该多孔板具有剖面为倒碗状的倒碗状凹部以及遮罩部，该倒碗状凹部按照当该多孔板被收纳于该凹部时与该槽对应的方式形成于该多孔板的与该保持面相反的相反面上，该遮罩部对该倒碗状凹部的以最凹陷的位置为中心的规定的范围进行遮罩， 使该槽与该流体提供源连通而被提供至该倒碗状凹部的流体被该遮罩部遮罩而防止该流体向正上方流动，该流体从该倒碗状凹部呈放射状朝向该保持面流动，并使流体从该保持面喷出。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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