佳能特机株式会社石井博获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能特机株式会社申请的专利成膜装置及使用其的有机EL显示装置的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116043181B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310121870.3，技术领域涉及：C23C14/50；该发明授权成膜装置及使用其的有机EL显示装置的制造方法是由石井博;柏仓一史设计研发完成，并于2018-07-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本成膜装置及使用其的有机EL显示装置的制造方法在说明书摘要公布了：本发明的成膜装置包含基板保持单元和静电吸盘，所述基板保持单元包含用于支承基板的周缘部的支承部，所述静电吸盘设置于所述支承部的上方并用于吸附基板，所述支承部包含设置于第一方向的第一支承部件和以与所述第一支承部件相对的方式设置于所述第一方向的第二支承部件，所述第一支承部件和所述第二支承部件分别能够在各自的基板支承面支承基板的方向上位移。
本发明授权成膜装置及使用其的有机EL显示装置的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种成膜装置，用于经由掩模在基板上进行成膜，其中， 包含： 基板保持单元，所述基板保持单元包含支承所述基板的第一边的周缘部的第一支承部件、和支承所述基板的与所述第一边相对的第二边的周缘部的第二支承部件； 静电吸盘，所述静电吸盘设置在所述基板的上方，用于吸附所述基板；以及 驱动部，用于驱动所述基板保持单元以及所述静电吸盘， 所述第一支承部件与所述第二支承部件分别具有基板支承面部和轴部，所述轴部经由弹性体部与所述基板支承面部连接， 所述第一支承部件与所述第二支承部件的各自的所述基板支承面部由于构成所述弹性体部的板簧的弹性变形，相对于所述轴部在与所述静电吸盘的吸附面交叉的方向上弹性地位移， 所述第一支承部件和所述第二支承部件的各自的所述基板支承面部的位移轴和弹性体部的位移轴在与基板面平行的方向上相互分离， 所述第一支承部件和所述第二支承部件分别包含引导基板支承面部的位移的引导部。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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