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龙图腾网获悉南京埃米仪器科技有限公司申请的专利一种小型精密运动台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120428527B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510931843.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种小型精密运动台是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种小型精密运动台在说明书摘要公布了：本发明公开了一种小型精密运动台，包括大理石基台和固定底座，还包括微动台、柔性连接组件和微动调平组件，大理石基台上表面连接有微动台和驱动微动台移动的X轴驱动结构、Y轴驱动结构，X轴驱动结构上通过固定底座连接Y轴驱动结构，Y轴驱动结构上安装有误差读取结构，Y轴驱动结构通过柔性连接组件连接微动台，微动台包括玻璃基台、上载台、下载台和提高微动台稳定性的微动调平组件，微动调平组件安装在下载台上，下载台内设置有冷却结构，玻璃基台上设置有用于散热和清理误差读取结构上颗粒物的吹扫机构。优点，球面支撑，点接触，柔性连接阻隔部分振动的传导，提升稳定性。

本发明授权一种小型精密运动台在权利要求书中公布了：1.一种小型精密运动台，包括大理石基台（1）和固定底座（7），其特征在于：还包括微动台（2）、柔性连接组件（5）和微动调平组件（6），大理石基台（1）上表面连接有微动台（2）和驱动微动台（2）移动的X轴驱动结构（4）、Y轴驱动结构（3），X轴驱动结构（4）上通过固定底座（7）连接Y轴驱动结构（3），Y轴驱动结构（3）上设置有误差读取结构（8），Y轴驱动结构（3）通过柔性连接组件（5）连接微动台（2），微动台（2）包括玻璃基台（23）、上载台（22）、下载台（21）和提高微动台（2）稳定性的微动调平组件（6），微动调平组件（6）设置在下载台（21）上，微动调平组件（6）上端支撑上载台（22），下载台（21）内设置有冷却结构（9），下载台（21）设置在玻璃基台（23）上方，玻璃基台（23）设在固定底座（7）上，玻璃基台（23）上设置有用于散热和清理误差读取结构（8）上颗粒物的吹扫机构（10）； 微动调平组件（6）包括一个固定支撑球（61）、两个可调节的支撑球结构（62）和四个弹簧（63），上载台（22）和下载台（21）相对应的三个角通过一个固定支撑球（61）、两个可调节的支撑球结构（62）和四个弹簧（63）非刚性连接； 在下载台（21）上表面一组斜对角分别设置一个可调节的支撑球结构（62）和一个弹簧（63），可调节的支撑球结构（62）靠近弹簧（63），在下载台（21）的另一个角上设置固定支撑球（61），固定支撑球（61）两侧边分别设置一个弹簧（63），可调节的支撑球结构（62）和固定支撑球（61）上端支撑上载台（22），上载台（22）下表面对应固定支撑球（61）的位置设置有便于设置固定支撑球（61）的连接槽，上载台（22）下表面设置有用于水平调节的斜台（221），斜台（221）与支撑球结构（62）接触，每个斜台（221）的位置分别对应一个可调节的支撑球结构（62）； 可调节的支撑球结构（62）包括调节顶丝（621）、微型电机、轴套（622）、移动支撑球（623）和导向槽（624），下载台（21）上表面设置有导向槽（624），下载台（21）上表面角落设置有调节顶丝（621），调节顶丝（621）两端分别连接微型电机和移动支撑球（623），微型电机驱动调节顶丝（621）转动，使移动支撑球（623）在导向槽（624）内移动，且与斜台（221）配合调节上载台（22）高度，调节顶丝（621）上设置有轴套（622），轴套（622）上设置有用于提高自锁能力的细牙螺纹。

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