广东科卓半导体设备有限公司魏余红获国家专利权
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龙图腾网获悉广东科卓半导体设备有限公司申请的专利一种晶圆切割机用切屑过滤分离装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120381707B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510888434.8,技术领域涉及:B01D36/04;该发明授权一种晶圆切割机用切屑过滤分离装置是由魏余红;王必安设计研发完成,并于2025-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆切割机用切屑过滤分离装置在说明书摘要公布了:本发明涉及固液分离技术领域,具体涉及一种晶圆切割机用切屑过滤分离装置,包括箱体;箱体设有过滤腔;过滤腔内设有过滤组件;箱体设有出液口与进液口;过滤腔的底部升降活动设有托盘;托盘设有废料座;废料座设有废料通道;废料座的顶部设有废料入口;废料座的底部设有废料出口;废料入口与废料通道的顶部正对设置;废料出口与废料通道的底部正对设置;废料通道与废料入口之间滑动设有上挡板;废料通道与废料出口之间滑动设有下挡板;上挡板与下挡板之间设有联动机构。本发明通过设置上挡板、下挡板以及联动机构,控制废料入口与废料通道之间的连通与阻断以及控制废料出口与废料通道之间的连通与阻断,从而能够自动将固体物排出。
本发明授权一种晶圆切割机用切屑过滤分离装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆切割机用切屑过滤分离装置,其特征在于:包括箱体1;所述箱体1设有过滤腔11;所述过滤腔11内设有过滤组件;所述箱体1在过滤组件的顶部设有与过滤腔11连通的出液口12;所述箱体1在过滤组件的底部设有与过滤腔11连通的进液口84; 所述过滤腔11的底部升降活动设有托盘21;所述托盘21设有废料座3;所述废料座3设有废料通道31;所述废料座3的顶部设有与过滤腔11连通的废料入口32;所述废料座3的底部设有与外界连通的废料出口33;所述废料入口32与废料通道31的顶部正对设置;废料出口33与废料通道31的底部正对设置; 所述废料通道31与废料入口32之间滑动设有上挡板41;所述废料通道31与废料出口33之间滑动设有下挡板42;所述上挡板41与下挡板42之间设有联动机构; 所述箱体1的底部贯穿设有触发孔22;所述废料座3伸缩活动设于触发孔22; 所述联动机构包括沿水平方向伸缩活动设于废料座3的上驱动块51以及沿水平方向伸缩活动设于废料座3的下驱动块52;所述上驱动块51设于下驱动块52的顶部;所述上驱动块51、下驱动块52、上挡板41以及下挡板42之间设有联动杆6; 所述上驱动块51的底部设有用于与触发孔22顶部抵靠的上斜面53;所述下驱动块52的顶部设有用于与触发孔22底部抵靠的下斜面54;所述托盘21与箱体1之间设有复位弹簧23; 所述联动杆6沿长度方向设有上条形槽61以及下条形槽62;所述上驱动块51设有上导向销55;所述下驱动块52设有下导向销56;所述上导向销55活动设于上条形槽61;所述下导向销56活动设于下条形槽62; 所述联动杆6的顶部伸缩活动设有上伸缩块63;所述联动杆6与上伸缩块63之间设有上弹簧65;所述上挡板41沿水平方向设有上水平槽43;所述上伸缩块63活动设于上水平槽43;所述联动杆6的底部伸缩活动设有下伸缩块64;所述联动杆6与下伸缩块64之间设有下弹簧66;所述下挡板42沿水平方向设有下水平槽44;所述下伸缩块64活动设于下水平槽44。
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