中国科学院长春光学精密机械与物理研究所郭疆获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利一种高效水冷EUV光刻机反射镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120386152B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510890882.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种高效水冷EUV光刻机反射镜是由郭疆;杨利伟;周龙加;朱磊设计研发完成，并于2025-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高效水冷EUV光刻机反射镜在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体光刻技术领域，具体涉及一种高效水冷EUV光刻机反射镜，包括镜体、密封柱塞和阻断柱塞，镜体的内部开设有多个横向孔道和多个纵向孔道，横向孔道和纵向孔道相互连通、并且延伸至镜体的外部，横向孔道和纵向孔道分别在镜体的边缘形成开口；多个密封柱塞嵌设于开口，其中，保留至少两个开口作为入水口和出水口；多个阻断柱塞分别嵌设于横向孔道和纵向孔道，以使入水口和出水口之间形成连续的水冷孔道。由此，具有高效、高可靠性的冷却性能，能够降低高功率EUV光源对光刻机反射镜的高温影响，避免产生热形变，提升光刻机反射镜的工作性能以及长期稳定性。
本发明授权一种高效水冷EUV光刻机反射镜在权利要求书中公布了：1.一种高效水冷EUV光刻机反射镜，其特征在于，包括： 镜体1，所述镜体1的内部开设有多个横向孔道11和多个纵向孔道12，所述横向孔道11和所述纵向孔道12相互连通、并且延伸至所述镜体1的外部，所述横向孔道11和所述纵向孔道12分别在所述镜体1的边缘形成开口13； 密封柱塞2，多个所述密封柱塞2嵌设于所述开口13，其中，保留至少两个所述开口13作为入水口41和出水口42； 阻断柱塞3，多个所述阻断柱塞3分别嵌设于所述横向孔道11和所述纵向孔道12，以使所述入水口41和所述出水口42之间形成连续的水冷孔道43。
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