京隆科技(苏州)有限公司秦志远获国家专利权
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龙图腾网获悉京隆科技(苏州)有限公司申请的专利一种晶圆盒装出货检测设备、方法及应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120369633B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510858945.5,技术领域涉及:G01N21/01;该发明授权一种晶圆盒装出货检测设备、方法及应用是由秦志远设计研发完成,并于2025-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆盒装出货检测设备、方法及应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶圆盒装出货检测设备、方法及应用。所述设备包括:定位模块、反射模块、图像获取模块和图像处理模块;反射模块包括长条形反射镜以及多个定位标记,长条形反射镜的长度方向与晶圆的轴向平行,定位标记与晶圆的容置位置一一对应;图像获取模块至少拍摄晶圆在反射镜中的反射像以及定位标记形成检验图像;图像处理模块中包含图像识别模型,用于基于识别晶圆所处的实际容置位置与目标容置位置是否匹配。本发明利用镜面反射成像来得到晶圆在晶圆盒中放置的检验图像,避免灯光直射引起的杂散干扰,同时利用反射面上设置的定位标记辅助图像识别模型来进行晶圆图形的识别,显著提高识别速度和准确性。
本发明授权一种晶圆盒装出货检测设备、方法及应用在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒装出货检测设备,用于检测晶圆盒中的内容物是否正确放置,所述内容物包括晶圆,其特征在于,所述晶圆盒装出货检测设备包括:定位模块、反射模块、图像获取模块和图像处理模块; 所述定位模块用于定位所述晶圆盒的姿态;所述反射模块包括设置于当所述晶圆盒被定位时所述晶圆盒旁边的长条形反射镜以及设置于所述长条形反射镜的反射面上的多个定位标记,所述长条形反射镜的长度方向与所述晶圆的轴向平行,所述定位标记与所述晶圆的容置位置一一对应; 所述图像获取模块至少拍摄所述晶圆在所述反射镜中的反射像以及所述定位标记,形成检验图像;所述图像处理模块中包含图像识别模型,所述图像识别模型用于基于所述检验图像识别所述晶圆所处的实际容置位置与目标容置位置是否匹配。
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