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龙图腾网获悉苏州冠韵威电子技术有限公司申请的专利一种多尺寸兼容的晶圆检验校准器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120376503B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510856086.6，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种多尺寸兼容的晶圆检验校准器是由刘相营;杜杰;王义书设计研发完成，并于2025-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多尺寸兼容的晶圆检验校准器在说明书摘要公布了：本发明公开了一种多尺寸兼容的晶圆检验校准器，包括：校准器本体；校准单元，校准单元包括轴承连接于基座上的连接轴，且连接轴上安装有摆臂，摆臂的两端皆通过转轴转动连接有连杆，连杆远离摆臂的一端皆通过转轴转动连接有活动台；两组活动台贯穿段上相靠近的一侧安装有第一定位台，且第一定位台上安装有第一定位板；两组活动台贯穿段上相远离的一侧安装有第二定位台，且第二定位台上安装有第二定位板。本发明通过摆臂、连杆与活动台的转动连接机构，第一定位板与第二定位板可同步调节间距，避免现有单轴驱动方式的偏移问题，实现不同尺寸晶圆载环的精准对中定位。

本发明授权一种多尺寸兼容的晶圆检验校准器在权利要求书中公布了：1.一种多尺寸兼容的晶圆检验校准器，用于对第一晶圆载环和第二晶圆载环进行定位校准，其特征在于，包括： 校准器本体，所述校准器本体包括基座，所述基座上安装有围板； 校准单元，所述校准单元包括轴承连接于所述基座上的连接轴，所述连接轴上安装有摆臂，所述摆臂的两端皆通过转轴转动连接有连杆，且所述连杆远离所述摆臂的一端皆通过转轴转动连接有活动台，所述活动台穿过所述围板延伸至所述围板的外表面，所述活动台穿过围板的一段形成贯穿段； 两组所述活动台的贯穿段上相靠近的一侧安装有第一定位台，所述第一定位台上安装有第一定位板，两组所述第一定位板用于对第一晶圆载环进行夹持定位； 两组所述活动台贯穿段上相远离的一侧安装有第二定位台，所述第二定位台上安装有第二定位板，两组所述第二定位板用于对第二晶圆载环进行夹持定位； 所述围板内部的两侧对称安装有固定架，所述固定架上安装有承载架，所述承载架与活动台的位置相对应，所述承载架上相靠近的一侧安装有第一承载台，所述第一承载台用于对第一晶圆载环进行承载支撑，所述承载架上相远离的一侧安装有第二承载台，所述第二承载台用于对第二晶圆载环进行承载支撑； 所述第一定位板和第二定位板上轴承连接有多组旋转轴，所述旋转轴上安装有导向滚轮，所述旋转轴的内部设有按压单元，所述按压单元与旋转轴联动配合，用于对第一晶圆载环和第二晶圆载环进行按压固定； 所述按压单元包括开设于所述旋转轴内部的通口，所述通口内滑动连接有活动轴，所述活动轴上安装有连接臂，所述连接臂上还安装有压杆，所述压杆远离所述连接臂的一端安装有橡胶垫，所述第一定位板和第二定位板下方的两侧皆对称设置有连板，所述活动轴与相对应的连板固定连接，每两组所述连板相靠近的一端皆安装有第一倾斜块，所述第一倾斜块上设置有第二倾斜块。

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