江苏神州半导体科技有限公司潘小刚获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏神州半导体科技有限公司申请的专利一种远程等离子源石英腔体气泡消除控制方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120354267B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510837240.5，技术领域涉及：G06F18/243；该发明授权一种远程等离子源石英腔体气泡消除控制方法及装置是由潘小刚;顾小军;束寅志;金玉亮设计研发完成，并于2025-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种远程等离子源石英腔体气泡消除控制方法及装置在说明书摘要公布了：本发明属于远程等离子源技术领域，提供了一种远程等离子源石英腔体气泡消除控制方法及装置，方法包括：获取石英腔体的气泡数据；基于随机森林算法获取工艺参数对于各气泡数据的重要性度；综合各气泡数据获得耦合重要性度；建立关于气泡数量M与气泡最大直径D的误差目标函数，对隶属度权值进行优化更新；将优化后的隶属度权值与对应的初始值进行比较，获得单位时间的各工艺参数变化率；根据气泡数量M与气泡最大直径D的误差率大小关系，依据工艺参数变化率对工艺进行动态优化。本发明基于随机森林评估出各工艺参数的重要性度，根据检测气泡的状态优化工艺参数，能够减少石英腔体颗粒对制程腔室的污染，提高远程等离子源的使用寿命。
本发明授权一种远程等离子源石英腔体气泡消除控制方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种远程等离子源石英腔体气泡消除控制方法，其特征在于，包括： 获取石英腔体的气泡数据，包括气泡数量和气泡最大直径； 基于随机森林算法，获取不同工艺参数对于各气泡数据的重要性度； 综合各气泡数据的重要性度，获得耦合重要性度； 建立关于气泡数量M与气泡最大直径D的误差目标函数，对气泡数量M与气泡最大直径D的隶属度权值进行优化更新；所述误差目标函数，为气泡数量误差阈值，为气泡最大直径误差阈值，为气泡数量阈值，为最大直径阈值，、分别为气泡数量和气泡最大直径的隶属度权值； 将优化后的隶属度权值与对应的初始值进行比较，获得单位时间的各工艺参数变化率； 根据气泡数量M与气泡最大直径D的误差率大小关系，依据所述工艺参数变化率对工艺进行动态优化。
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