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龙图腾网获悉上海隐冠半导体技术有限公司申请的专利一种多轴干涉仪平行度检测系统及检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120333351B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510828963.9，技术领域涉及：G01B11/27；该发明授权一种多轴干涉仪平行度检测系统及检测方法是由费金磊;张晨设计研发完成，并于2025-06-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多轴干涉仪平行度检测系统及检测方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种多轴干涉仪平行度检测系统及检测方法，检测方法包括：激光束整形后被多轴干涉仪分为第一待检测光束和第二待检测光束；调整检测模块内相机镜面与x方向垂直；检测模块得到第一待检测光束和第二待检测光束的近端成像信息和远端成像信息；计算第二待检测光束与第一待检测光束的平行度；不平行时计算夹角进行角度补偿。本发明通过近端和远端的成像对比，精确测量多轴干涉仪的光束平行度，测量结果有效性强；同时设置反射模块保证相机与第一待检测光束的光轴之间垂直，提高测量准确性和有效性；另外光束汇合工装汇聚光束，使相机对两个待检测光束成像时不需移动，提高检测便捷性；最后设置成像光束半径调整光束准直效果，提高检测精度。

本发明授权一种多轴干涉仪平行度检测系统及检测方法在权利要求书中公布了：1.一种多轴干涉仪平行度检测系统，其特征在于，所述检测系统包括：光源模块（11）、光束整形模块（12）、多轴干涉仪（13）、检测模块（17）和计算模块； 所述光源模块（11）出射激光束（51）经过所述光束整形模块（12）被整形为准直单偏振的入射光（55），所述入射光（55）入射所述多轴干涉仪（13）被分为n条光束，所述光束包括1条第一待检测光束（56）和n-1条第二待检测光束（57），n为大于等于2的整数；预设x方向，所述第一待检测光束（56）的光轴与x方向平行； 所述检测模块（17）用于接收并测量所述第一待检测光束（56）和所述第二待检测光束（57）在近端位置区域（15）和远端位置区域（16）内垂直于x方向的成像面上的近端成像信息和远端成像信息；所述远端位置区域（16）与所述多轴干涉仪（13）之间沿x方向上的距离大于所述近端位置区域（15）与所述多轴干涉仪（13）之间沿x方向上的距离； 所述计算模块与所述检测模块（17）连接，用于根据所述近端成像信息和所述远端成像信息得到所述第二待检测光束（57）与所述第一待检测光束（56）之间的平行度。

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