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龙图腾网获悉上海邦芯半导体科技有限公司申请的专利晶圆传送设备及其安全检测系统和检测方法、控制装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120319696B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510788877.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆传送设备及其安全检测系统和检测方法、控制装置是由徐昕;王兆祥;桂智谦;涂乐义;梁洁;仲凯;方子豪;曹天俊;谭小龙设计研发完成，并于2025-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆传送设备及其安全检测系统和检测方法、控制装置在说明书摘要公布了：本公开提供晶圆传送设备及其安全检测系统和检测方法、控制装置。安全检测系统包括障碍物检测装置和控制装置，障碍物检测装置包括至少一动态检测模组，用于受控沿预设的检测路径移动并生成动态检测信号，至少一动态检测模组沿预设的检测路径移动形成的检测范围覆盖传送机器人的作业区域；控制装置与至少一动态检测模组通信连接，用于控制至少一动态检测模组执行安全检测，根据动态检测信号而判断检测范围内是否存在障碍物，在确定存在障碍物时采取应对措施。安全检测系统结构简单、能对传送机器人的作业区域执行全面且快速的安全检测，在检测到障碍物时采取有效的应对措施，避免传送机器人因路径障碍物引发碰撞事故。

本发明授权晶圆传送设备及其安全检测系统和检测方法、控制装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传送设备的安全检测系统，其特征在于，所述晶圆传送设备包括传送腔体和设于所述传送腔体内的传送机器人，所述传送腔体包括至少一进料口和至少一出料口；所述安全检测系统包括： 障碍物检测装置，包括至少一动态检测模组；所述至少一动态检测模组设置于所述传送腔体内，用于受控沿预设的检测路径移动并生成动态检测信号；其中，所述至少一动态检测模组沿预设的检测路径移动形成的检测范围覆盖所述传送机器人的作业区域；所述动态检测模组包括检测模块和与所述检测模块关联的移动驱动机构，所述移动驱动机构用于驱动所述检测模块沿预设的检测路径移动；以及 控制装置，与所述检测装置中的至少一动态检测模组通信连接，用于向所述至少一动态检测模组发送检测指令以令所述至少一动态检测模组中的移动驱动机构驱动关联的检测模块沿预设的检测路径移动进行巡检以覆盖到传送机器人的作业区域，根据所述至少一动态检测模组的动态检测信号而判断检测范围内是否存在障碍物，并在确定存在障碍物时采取应对措施。

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