蓝河科技(绍兴)有限公司刘永明获国家专利权
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龙图腾网获悉蓝河科技(绍兴)有限公司申请的专利气体分配装置和半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120291061B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510756690.1，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权气体分配装置和半导体设备是由刘永明;周慧娟;张伟设计研发完成，并于2025-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体分配装置和半导体设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种气体分配装置和半导体设备，气体分配装置包括盖体，设有进气部；喷淋件，活动设于盖体，与盖体之间形成有与进气部相通的扩散腔；升降隔离装置，包括隔板部和升降部，升降部活动套设于隔板部，顶部与盖体相贴合以使升降部分别与隔板部和盖体之间均产生相互作用力，隔板部设于喷淋件以与升降部将扩散腔围成不同气室；驱动装置，设于喷淋件底部并延伸至盖体外，通过控制驱动装置带动喷淋件和隔板部远离或朝向盖体运动，使升降部顶部朝向或远离盖体运动，以调节升降隔离装置所围区域的容积。半导体设备，包括气体分配装置，以及与气体分配装置相对设置并用于承载基片的基座。本发明能够实现提高气流调整灵活度，提升设备兼容性。
本发明授权气体分配装置和半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种气体分配装置，其特征在于，包括： 盖体100，设有进气部； 喷淋件200，活动设于所述盖体100，与所述盖体100之间形成有与所述进气部相通的扩散腔300； 升降隔离装置400，包括隔板部410和升降部420，所述升降部420活动套设于所述隔板部410，顶部与所述盖体100相贴合以使所述升降部420分别与隔板部410和所述盖体100之间均产生相互作用力，所述隔板部410设于所述喷淋件200以与所述升降部420将所述扩散腔300围成不同气室； 驱动装置，设于所述喷淋件200底部并延伸至所述盖体100外，通过控制所述驱动装置带动所述喷淋件200和所述隔板部410远离或朝向所述盖体100运动，使所述升降部420顶部朝向或远离盖体100运动，以调节所述升降隔离装置400所围区域的容积。
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