上海大学刘海获国家专利权
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龙图腾网获悉上海大学申请的专利沉积辅助结构、光学结构的形成方法及衍射光波导获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119506795B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510089001.6，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权沉积辅助结构、光学结构的形成方法及衍射光波导是由刘海设计研发完成，并于2025-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本沉积辅助结构、光学结构的形成方法及衍射光波导在说明书摘要公布了：一种沉积辅助结构、光学结构的形成方法及衍射光波导，方法包括：提供基板，所述基板包括一个或多个光学结构区域；提供沉积辅助结构，所述沉积辅助结构垂直于基板表面方向设置；提供靶材，设置于所述基板上方；将所述沉积辅助结构设置于所述靶材与所述基板之间，所述第二辅助板与所述基板接触，所述第二窗口与所述光学结构区域相对应，所述第一窗口与所述靶材相对应；通过调整靶材、第一窗口和第二窗口的相对位置在所述光学结构区域上形成厚度依次增加或减少的光学结构材料层。以实现光学结构的厚度连续变化得到精确控制。
本发明授权沉积辅助结构、光学结构的形成方法及衍射光波导在权利要求书中公布了：1.一种沉积辅助结构，其特征在于，包括： 第一辅助板，所述第一辅助板内具有贯穿所述第一辅助板的第一窗口； 第二辅助板，所述第二辅助板内具有贯穿所述第二辅助板的第二窗口，所述第一窗口和所述第二窗口的中心线不重合； 所述第二辅助板设置于基板上且与所述基板相接触； 所述第一辅助板和所述第二辅助板之间平行设置且具有间距，所述第一辅助板的所述第一窗口和所述第二辅助板的所述第二窗口用于在所述第二窗口内形成厚度依次增加或减少的材料层；所述材料层的厚度与所述间距相关；所述第一窗口投影于所述第二辅助板的投影范围与所述第二窗口部分重合； 所述材料层用于形成衍射光波导的转折光栅和或耦出光栅，所述转折光栅和或所述耦出光栅的深度沿着光线传输的方向逐渐增加；通过调整所述间距的大小、所述第一窗口和所述第二窗口的相对位置，调整所述材料层在不同位置的厚度。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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