北京中科科仪股份有限公司许鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉北京中科科仪股份有限公司申请的专利一种分子泵测试系统及测试方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119641682B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411790768.3，技术领域涉及：F04D27/00；该发明授权一种分子泵测试系统及测试方法是由许鹏设计研发完成，并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种分子泵测试系统及测试方法在说明书摘要公布了：本发明涉及分子泵测试技术领域，具体涉及一种分子泵测试系统及测试方法。一种分子泵测试系统，包括：分子泵组件，所述分子泵组件包括待测分子泵，所述待测分子泵具有容纳腔；输送管路；粉尘生成组件，所述待测分子泵通过输送管路与粉尘生成组件连通，所述粉尘生成组件产生的粉尘通过输送管路输送至待测分子泵的容纳腔内。本发明提供了一种分子泵测试系统及测试方法，以解决现有的分子泵在耐粉尘测试过程中，往往通过实际半导体设备验证，存在实验周期长、结果难以定量分析的问题。
本发明授权一种分子泵测试系统及测试方法在权利要求书中公布了：1.一种分子泵测试系统，其特征在于，包括： 分子泵组件2，所述分子泵组件2包括待测分子泵201，所述待测分子泵201具有容纳腔； 输送管路3； 粉尘生成组件1，所述待测分子泵201通过输送管路3与粉尘生成组件1连通，所述粉尘生成组件1产生的粉尘通过输送管路3输送至待测分子泵201的容纳腔内； 还包括测试罩组件5，所述测试罩组件5设于待测分子泵201和粉尘生成组件1之间； 所述测试罩组件5包括罩体501，所述罩体501的连通口5011与待测分子泵201连通； 所述测试罩组件5包括第一轴承座502、转轴506和第二轴承座503，所述罩体501对应设置的侧壁上分别设有第一轴承座502和第二轴承座503，所述罩体501的侧壁上固定设有第一轴承座502，所述罩体501的侧壁连接有第二轴承座503，所述转轴506分别与第一轴承座502、第二轴承座503连接。
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