幂帆科技(上海)股份有限公司陆宁宁获国家专利权
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龙图腾网获悉幂帆科技(上海)股份有限公司申请的专利一种晶圆全自动撕膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223267250U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422800159.3，技术领域涉及：B65B69/00；该实用新型一种晶圆全自动撕膜设备是由陆宁宁;葛春华;夏笔健设计研发完成，并于2024-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆全自动撕膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体加工技术领域，是关于一种晶圆全自动撕膜设备，其包括：设备壳体；搬运机械手单元，设于设备壳体内，所述搬运机械手单元将晶圆从晶圆传送盒中取出并送到预设位置；解胶单元，设于设备壳体内；所述搬运机械手单元将晶圆送至解胶单元中进行晶圆膜的解胶；晶圆搬运单元，设于设备壳体内；搬运机械手单元将解胶后的晶圆送至晶圆搬运单元上；撕膜单元，设于设备壳体内；对晶圆搬运单元上的晶圆的晶圆膜进行撕膜。采用上述结构后，其有益效果是：能够全自动进行晶圆位置校准、晶圆膜解胶和晶圆撕膜。
本实用新型一种晶圆全自动撕膜设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆全自动撕膜设备，其特征在于，其包括： 设备壳体； 搬运机械手单元，设于设备壳体内，所述搬运机械手单元将晶圆从晶圆传送盒中取出并送到预设位置； 解胶单元，设于设备壳体内；所述搬运机械手单元将晶圆送至解胶单元中进行晶圆膜的解胶； 晶圆搬运单元，设于设备壳体内；搬运机械手单元将解胶后的晶圆送至晶圆搬运单元上； 撕膜单元，设于设备壳体内；对晶圆搬运单元上的晶圆的晶圆膜进行撕膜；搬运机械手单元将撕膜后的晶圆送至预设位置。
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