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安徽其芒光电科技有限公司郑炳蔚获国家专利权

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龙图腾网获悉安徽其芒光电科技有限公司申请的专利透射式检测膜厚的光控结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223271848U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422780423.1,技术领域涉及:G01B11/06;该实用新型透射式检测膜厚的光控结构是由郑炳蔚;裴永康;常兴旺;姜友松设计研发完成,并于2024-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。

透射式检测膜厚的光控结构在说明书摘要公布了:本申请公开一种透射式检测膜厚的光控结构,用于监测真空镀膜设备中的基片的镀膜膜厚,所述真空镀膜设备设有镀膜腔,所述镀膜腔内设有用于承载所述基片的支架;所述光控结构包括:卤素灯、第一透镜、棱镜、第二透镜、光纤和光谱仪;其中,所述卤素灯位于所述第一透镜的上方,所述第一透镜位于所述支架的上方且位于所述镀膜腔外;所述棱镜位于所述支架的下方,所述第二透镜位于所述棱镜的一侧,所述光纤位于所述第二透镜背离所述棱镜的一侧;所述光谱仪和所述光纤背离所述第二透镜的一端相连,所述光谱仪用于调节采集波长。本说明书所提供的透射式检测膜厚的光控结构,可以在光学薄膜制备过程中对薄膜成长进行直接监测,以提高膜厚测量精准度。

本实用新型透射式检测膜厚的光控结构在权利要求书中公布了:1.一种透射式检测膜厚的光控结构,其特征在于,所述光控结构用于监测真空镀膜设备中的基片的镀膜膜厚,所述真空镀膜设备设有镀膜腔,所述镀膜腔内设有用于承载所述基片的支架;所述光控结构包括:卤素灯、第一透镜、棱镜、第二透镜、光纤和光谱仪; 其中,所述卤素灯位于所述第一透镜的上方,所述第一透镜位于所述支架的上方且位于所述镀膜腔外;所述棱镜位于所述支架的下方,所述第二透镜位于所述棱镜的一侧,所述光纤位于所述第二透镜背离所述棱镜的一侧;所述光谱仪和所述光纤背离所述第二透镜的一端相连,所述光谱仪用于调节采集波长。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人安徽其芒光电科技有限公司,其通讯地址为:230000 安徽省合肥市高新区文曲路19号3楼101室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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