华兴源创(成都)科技有限公司孙逸获国家专利权
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龙图腾网获悉华兴源创(成都)科技有限公司申请的专利目标物表面无损测量装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223272439U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422755014.6,技术领域涉及:G01N21/88;该实用新型目标物表面无损测量装置是由孙逸;姚宪;姚夏设计研发完成,并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本目标物表面无损测量装置在说明书摘要公布了:本申请涉及一种目标物表面无损测量装置。所述装置包括:第一光源、镜头、线性二向色镜,第一图像传感器以及第二图像传感器;其中,第一光源对具有光致发光材料的目标物发射第一激发光,利用线性二向色镜透过率随着波长的增加而增加的特点,通过对第一图像传感器获取的透过线性二向色镜的目标物探测光的第一灰度图像和第二图像传感器获取的反射线性二向色镜的目标物探测光的第二灰度图像进行图像处理,得到目标物每一点的质心光谱,进而得到目标物的表面信息。本申请通过无接触式的检测装置,可避免探针对MicroLED芯片的电极与表面造成物理损伤,从而能够对晶圆级的MicroLED进行检测以便实现坏点的拦截,提升MicroLED显示屏良品率。
本实用新型目标物表面无损测量装置在权利要求书中公布了:1.一种目标物表面无损测量装置,其特征在于,包括: 第一光源,用于对目标物发出第一激发光;所述目标物包括光致发光材料; 镜头,接收并调节所述目标物被所述第一激发光激发的目标物探测光; 线性二向色镜,至少透过部分所述目标物探测光并至少反射部分所述目标物探测光;所述线性二向色镜的透过率随着波长的增加而增加,反射率随着波长的减少而减少; 第一图像传感器,布置在所述线性二向色镜的透射光路上,得到所述线性二向色镜透射的目标物探测光的第一灰度图像;以及 第二图像传感器,布置在所述线性二向色镜的反射光路上,得到所述线性二向色镜反射的目标物探测光的第二灰度图像; 其中,通过对所述第一灰度图像和所述第二灰度图像进行图像处理,得到所述目标物每一点的质心光谱;并基于所述目标物每一点的质心光谱,得到所述目标物的表面信息。
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