武汉楚兴技术有限公司陈世龙获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉楚兴技术有限公司申请的专利一种半导体真空传输系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223273229U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422735013.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种半导体真空传输系统是由陈世龙;李二雷;叶淦设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体真空传输系统在说明书摘要公布了：本申请公开一种半导体真空传输系统，半导体真空传输系统包括装载锁模块，装载锁模块包括装载锁腔室和设于装载锁腔室内的晶圆放置台，装载锁腔室内设有至少一个激光传感器，激光传感器用于发射检测激光，检测激光在晶圆所在平面形成的线光斑的尺寸大于等于晶圆的直径。本申请的半导体真空传输系统中，激光传感器能够对于经过加工处理之前和之后的晶圆都进行完整性检测，方便快捷，且不会对半导体机台的传输效率造成影响，从而保证了WPH满足要求。
本实用新型一种半导体真空传输系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体真空传输系统，其特征在于，包括装载锁模块，所述装载锁模块包括装载锁腔室和设于所述装载锁腔室内的晶圆放置台，所述装载锁腔室内设有至少一个激光传感器，所述激光传感器用于发射检测激光，所述检测激光在晶圆所在平面形成的线光斑的尺寸大于等于所述晶圆的直径。
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