苏州鑫睿微电子设备有限公司韦胜获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州鑫睿微电子设备有限公司申请的专利一种用于高密度等离子体设备的快速接头获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223270843U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422701759.4，技术领域涉及：F16L23/024；该实用新型一种用于高密度等离子体设备的快速接头是由韦胜;赵明锆设计研发完成，并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于高密度等离子体设备的快速接头在说明书摘要公布了：本实用新型涉及高密度等离子体设备相关领域，特别是涉及一种用于高密度等离子体设备的快速接头，包括装置本体，所述装置本体内包含主导管、腔室分管、控制阀、法兰组件和快接组件，所述主导管一侧连接有多组腔室分管，所述腔室分管外端连接有控制阀，所述法兰组件设置在控制阀外端，所述快接组件连接在法兰组件外端，所述法兰组件包含内法兰、外法兰和内接管，所述快接组件包含连接座，所述连接座前端设有螺纹管且螺纹管前端连接有弹性片，能够实现对内外法兰的双重密封保护，有效提高了法兰连接处的密封效果，能够实现对外接管的快速连接，节省在快接头损坏的情况下，更换快接头所需时间，避免影响其他处理腔室的生产。
本实用新型一种用于高密度等离子体设备的快速接头在权利要求书中公布了：1.一种用于高密度等离子体设备的快速接头，其特征在于：包括装置本体1，所述装置本体1内包含主导管2、腔室分管3、控制阀4、法兰组件5和快接组件6，所述主导管2一侧连接有多组腔室分管3，所述腔室分管3外端连接有控制阀4，所述法兰组件5设置在控制阀4外端，所述快接组件6连接在法兰组件5外端。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州鑫睿微电子设备有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市苏州工业园区东环路1500号现代创展大厦1幢1607-1室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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