成都沃特塞恩电子技术有限公司刘文科获国家专利权
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龙图腾网获悉成都沃特塞恩电子技术有限公司申请的专利一种样品台组件及MPCVD装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223268756U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422642802.4，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种样品台组件及MPCVD装置是由刘文科;李俊宏;黄春林设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种样品台组件及MPCVD装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及微波等离子体技术领域，具体而言，涉及一种样品台组件及MPCVD装置，所述样品台组件包括底座和钼台，还包括铜板，所述钼台套设在铜板上，所述铜板套设在底座上，所述铜板设置有凹槽，所述凹槽与底座形成通道，所述底座设置有冷却介质入口和冷却介质出口，所述冷却介质入口和冷却介质出口均与通道连通，提供了一种可防止钼台被冷却介质侵蚀，且散热性能较好的样品台组件，所述MPCVD装置包括所述样品台组件。
本实用新型一种样品台组件及MPCVD装置在权利要求书中公布了：1.一种样品台组件，包括底座（1）和钼台（2），其特征在于：还包括铜板（3），所述钼台（2）套设在铜板（3）上，所述铜板（3）套设在底座（1）上，所述铜板（3）设置有凹槽（31），所述凹槽（31）与底座（1）形成通道（4），所述底座（1）设置有冷却介质入口（11）和冷却介质出口（12），所述冷却介质入口（11）和冷却介质出口（12）均与通道（4）连通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人成都沃特塞恩电子技术有限公司，其通讯地址为：610041 四川省成都市高新区益州大道中段1800号天府软件园G区G3栋3楼301号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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