甬矽半导体(宁波)有限公司何正鸿获国家专利权
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龙图腾网获悉甬矽半导体(宁波)有限公司申请的专利多功能吸附治具和真空机台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223265502U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422627246.3,技术领域涉及:B25B11/00;该实用新型多功能吸附治具和真空机台是由何正鸿;韩新;田旭;陈泽设计研发完成,并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本多功能吸附治具和真空机台在说明书摘要公布了:本申请提供的一种多功能吸附治具和真空机台,涉及半导体设备技术领域。该多功能吸附治具包括载台和垫块,载台上设有第一吸附孔以及安装槽。垫块可拆卸的设于安装槽内。安装槽的底部设有第二吸附孔,垫块设有第三吸附孔,第二吸附孔和第三吸附孔选择性的对准。该多功能吸附治具通过设置垫块,可以提高载台的支撑性能,缓解基板或衬底的翘曲。第二吸附孔和第三吸附孔选择性的对准,有利于适应不同类型的衬底或基板,通用性好。
本实用新型多功能吸附治具和真空机台在权利要求书中公布了:1.一种多功能吸附治具,其特征在于,包括: 载台,所述载台上设有第一吸附孔以及安装槽; 垫块,所述垫块可拆卸的设于所述安装槽内; 所述安装槽的底部设有第二吸附孔,所述垫块设有第三吸附孔,所述第二吸附孔和所述第三吸附孔选择性的对准。
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