扬州德沪智能装备有限公司;德沪涂膜设备(苏州)有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉扬州德沪智能装备有限公司;德沪涂膜设备(苏州)有限公司申请的专利磁控溅射用平面阴极及磁控溅射装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223268739U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422633933.6，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型磁控溅射用平面阴极及磁控溅射装置是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本磁控溅射用平面阴极及磁控溅射装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于磁控溅射技术领域，公开了一种磁控溅射用平面阴极及磁控溅射装置。该磁控溅射用平面阴极包括阴极体和冷却组件，冷却组件和阴极体可拆卸连接，冷却组件包括换热板，换热板的第一表面与阴极体贴合设置，冷却组件内循环流通有冷却介质，以使换热板与阴极体进行换热。通过冷却组件外置，以及换热板和阴极体贴合设置，使得该磁控溅射用平面阴极在保证冷却效果的同时，避免了冷却介质和平面阴极直接接触，提高了平面阴极的使用寿命和使用效果，从而提高了该磁控溅射装置的可靠性。
本实用新型磁控溅射用平面阴极及磁控溅射装置在权利要求书中公布了：1.磁控溅射用平面阴极，其特征在于，包括阴极体10和冷却组件20，所述冷却组件20和所述阴极体10可拆卸连接，所述冷却组件20包括换热板21，所述换热板21的第一表面与所述阴极体10贴合设置，所述冷却组件20内循环流通有冷却介质，以使所述换热板21与所述阴极体10进行换热。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人扬州德沪智能装备有限公司;德沪涂膜设备(苏州)有限公司，其通讯地址为：225009 江苏省扬州市开发区扬子江中路186号智谷科技综合体C栋17层17-3；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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