拉普拉斯新能源科技股份有限公司赵国建获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯新能源科技股份有限公司申请的专利镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223268757U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422648848.7,技术领域涉及:C23C16/458;该实用新型镀膜设备是由赵国建;郭路斌;朱太荣;张武设计研发完成,并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀膜设备在说明书摘要公布了:一种镀膜设备,包括炉管和一对舟脚电极。炉管包括镀膜腔体,镀膜腔体用以容置用于承载镀膜工件的石墨舟。该对舟脚电极设置在镀膜腔体中。每一个舟脚电极包括用于与石墨舟接触的结合面。密封圈固定设置在结合面上且延伸成封闭的圈状。当石墨舟的舟脚抵持在结合面上,舟脚与密封圈之间形成一密闭的空间。密封圈的材料可以是石墨或者其他耐高温且具有一定弹性的材料,防止镀膜腔体中的反应气体进入舟脚电极与石墨舟结合形成的空间内,避免舟脚电极被密封圈围绕的区域被沉积膜层。
本实用新型镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种镀膜设备,其特征在于,包括: 炉管,炉管包括镀膜腔体,所述镀膜腔体用以容置用于承载镀膜工件的石墨舟; 一对舟脚电极,设置在所述镀膜腔体中,每一个所述舟脚电极包括用于与所述石墨舟接触的结合面; 密封圈,固定设置在所述结合面上且延伸成封闭的圈状; 其中,当所述石墨舟的舟脚抵持在所述结合面时,所述舟脚与所述密封圈之间形成密闭的空间。
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