拓荆科技(上海)有限公司牛沛泽获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利一种集成式的腔体抽气装置及其薄膜沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223268753U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422628722.3，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种集成式的腔体抽气装置及其薄膜沉积设备是由牛沛泽设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种集成式的腔体抽气装置及其薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种集成式的腔体抽气装置及其薄膜沉积设备，集成式的腔体抽气装置包括：抽气块，连接于抽气块上的至少一组抽气控制组件，抽气块上设有抽气通道和排气通道，抽气通道和排气通道的其中一端均延伸至抽气块的表面，抽气控制组件用于控制抽气通道与排气通道的通断。其通过将抽气角阀阀芯以及对应的真空规和安全阀集成在块状的抽气块上，抽气块内部开设有抽气通道和排气通道，从而实现高度集成的抽气模组，从而便于根据实际需要，将抽气模组连接组装于反应腔室的任何位置。本实施例的薄膜沉积设备，其将反应腔的进气孔和出气孔相对设置，从而使进气对流，避免在反应腔内出现死区现象。
本实用新型一种集成式的腔体抽气装置及其薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种集成式的腔体抽气装置，其特征在于，包括：抽气块，连接于所述抽气块上的至少一组抽气控制组件，所述抽气块上设有抽气通道和排气通道，所述抽气通道和所述排气通道的其中一端均延伸至所述抽气块的表面，所述抽气控制组件用于控制所述抽气通道与所述排气通道的通断。
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