乐金显示光电科技(中国)有限公司周向阳获国家专利权
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龙图腾网获悉乐金显示光电科技(中国)有限公司申请的专利化学气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223268760U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422618137.5，技术领域涉及：C23C16/50；该实用新型化学气相沉积设备是由周向阳设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种化学气相沉积设备，包括电子发射装置以及反应装置。电子发射装置包括热电离机构以及阳极结构，热电离机构具有热电离腔以及设于热电离腔外部的电阻丝，热电离腔用于容纳热电离气体，电阻丝能够对热电离腔进行加热，阳极结构位于热电离机构的一侧，且阳极结构设有第一通孔，第一通孔连通于热电离腔，反应装置包括气相沉积室以及反应气体输送机构，气相沉积室的内部连通于第一通孔远离热电离腔的一端，反应气体输送机构连通于气相沉积室的内部。该电子发射装置的电子发射性能较稳定，能够降低化学气相沉积设备的清洁、维护频率，且使化学气相沉积设备对反应气体的电离性能较稳定，化学气相沉积设备的化学气相沉积效率较稳定。
本实用新型化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积设备，其特征在于，包括： 电子发射装置，所述电子发射装置包括热电离机构以及阳极结构，所述热电离机构具有热电离腔以及设于所述热电离腔外部的电阻丝，所述热电离腔用于容纳热电离气体，所述电阻丝能够对所述热电离腔进行加热，所述阳极结构位于所述热电离机构的一侧，且所述阳极结构设有第一通孔，所述第一通孔连通于所述热电离腔；以及， 反应装置，所述反应装置包括气相沉积室以及反应气体输送机构，所述气相沉积室的内部连通于所述第一通孔远离所述热电离腔的一端，所述反应气体输送机构连通于所述气相沉积室的内部。
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