乐金显示光电科技(中国)有限公司周向阳获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉乐金显示光电科技(中国)有限公司申请的专利气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223268761U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422628687.5，技术领域涉及：C23C16/509；该实用新型气相沉积设备是由周向阳设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于显示装置制造技术领域，公开了一种气相沉积设备，包括沉积机构、进料管和预电离机构，沉积机构包括沉积室、上电极和下电极，上电极用于连接射频电源，下电极用于接地并承载待镀基板；进料管用于向上电极输入反应气体；预电离机构包括第一反应腔和电子发生元件，进料管通过第一反应腔与上电极连通，电子发生元件设置于第一反应腔内。本实用新型的气相沉积设备使反应气体进入预电离机构的第一反应腔内时，部分反应气体能够与电子发生元件产生的游离的电子结合而转变等离子体，而后第一反应腔内剩余部分未被电离的反应气体和等离子体的混合体再流向上电极内继续电离，有效提升反应气体的电离度，从而提升反应气体的利用率。
本实用新型气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种气相沉积设备，其特征在于，包括： 沉积机构，所述沉积机构包括沉积室、上电极和下电极，所述上电极与所述下电极沿竖直方向间隔设置于所述沉积室内，且所述上电极用于连接射频电源，所述下电极用于接地并承载待镀基板； 进料管，所述进料管的一端连通外部气源，所述进料管的另一端用于向所述上电极输入反应气体； 预电离机构，所述预电离机构包括第一反应腔和电子发生元件，所述进料管通过所述第一反应腔与所述上电极连通，所述电子发生元件设置于所述第一反应腔内，所述电子发生元件能向所述第一反应腔内生成电子，所述电子与所述第一反应腔内的部分所述反应气体预电离成等离子体。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人乐金显示光电科技(中国)有限公司，其通讯地址为：510530 广东省广州市高新技术产业开发区科学城开泰大道59号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励