安徽华矽半导体科技有限公司;宣城先进光伏技术有限公司王家奇获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽华矽半导体科技有限公司;宣城先进光伏技术有限公司申请的专利一种半导体静电吸盘薄膜铜电极的镀铜辅助工具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223268797U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422617916.3,技术领域涉及:C25D17/00;该实用新型一种半导体静电吸盘薄膜铜电极的镀铜辅助工具是由王家奇;孙晓东;顾勇;屈长明;蔡爱玲;陈占开;郭铁;解晨晨;周飞设计研发完成,并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体静电吸盘薄膜铜电极的镀铜辅助工具在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体器件技术领域,具体涉及一种半导体静电吸盘薄膜铜电极的镀铜辅助工具,包括底板,其顶部贴设有PI膜,屏蔽板,覆盖在所述PI膜上,所述屏蔽板的中心处设有镀铜通孔,镀铜图案,设置在所述镀铜通孔内,多个定位件,设置在所述底板和镀铜图案上,且所述屏蔽板和镀铜图案通过定位件作用压紧在PI膜上,底板、PI膜和屏蔽板上均贯通设有多个定位孔,以使底板、PI膜和屏蔽板精准重合,通过使用屏蔽板进行遮挡,获得的铜电极表面更洁净,使用定位件对镀铜图案进行定位,确保了形状的准确性。
本实用新型一种半导体静电吸盘薄膜铜电极的镀铜辅助工具在权利要求书中公布了:1.一种半导体静电吸盘薄膜铜电极的镀铜辅助工具,其特征在于,包括: 底板3,其顶部放置有PI膜2; 屏蔽板1,贴合在所述PI膜2的顶部,所述屏蔽板1的中心处设有镀铜通孔; 镀铜图案,设置在所述镀铜通孔内; 多个定位件,设置在所述底板3和镀铜图案上,且所述屏蔽板1和镀铜图案通过定位件作用压紧在PI膜2上; 其中,底板3、PI膜2和屏蔽板1上均贯通设有多个定位孔5,以使底板3、PI膜2和屏蔽板1精准重合。
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