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龙图腾网获悉苏州佑伦真空设备科技有限公司申请的专利一种离子束蚀刻机的晶圆载台的旋转轴装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223273264U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422616745.2，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种离子束蚀刻机的晶圆载台的旋转轴装置是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种离子束蚀刻机的晶圆载台的旋转轴装置在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种离子束蚀刻机的晶圆载台的旋转轴装置，包括载台板，所述载台板上固定安装旋转臂，所述旋转臂用于与外部的旋转驱动结构连接，第一伺服电机输出端连接减速机，磁流体固定在连接套上，磁流体内套设的轴的一端穿过离子束蚀刻机的刻蚀室的一侧壁与载台板连接，所述连接套远离离子束蚀刻机的刻蚀室的一端固定套接有安装架，所述磁流体内套设的轴的另一端依次与所述减速机和安装架套接，远离离子束蚀刻机的刻蚀室的所述磁流体内套设的轴的端末设有一组阻挡块组，安装架与阻挡块的同侧设有多个缓冲装置，通过缓冲装置与阻挡块的配合，来限制所述磁流体内套设的轴的旋转角度，以此来辅助限制所述载台板的旋转角度。

本实用新型一种离子束蚀刻机的晶圆载台的旋转轴装置在权利要求书中公布了：1.一种离子束蚀刻机的晶圆载台的旋转轴装置，包括载台板（1），所述载台板（1）上固定安装旋转臂（11），所述旋转臂（11）用于与外部的旋转驱动结构（20）连接，通过外部旋转驱动结构（20）进行旋转，使得晶圆的刻蚀更加的均匀，所述旋转驱动结构（20）包含第一伺服电机（21），所述第一伺服电机（21）输出端连接减速机（22），磁流体（23）固定在连接套（90）上，所述连接套（90）与离子束蚀刻机的刻蚀室的一侧壁固定连接，所述磁流体（23）内套设的轴（24）的一端穿过离子束蚀刻机的刻蚀室的一侧壁与载台板（1）连接，通过第一伺服电机（21）与减速机（22）转动磁流体（23）的轴（24），从而带动载台板（1）转动，其特征在于：所述连接套（90）远离离子束蚀刻机的刻蚀室的一端固定套接有安装架（30），所述磁流体（23）内套设的轴（24）的另一端依次与所述减速机（22）和安装架（30）套接，所述远离离子束蚀刻机的刻蚀室的所述磁流体（23）内套设的轴（24）的端末设有一组阻挡块组，所述阻挡块组由间隔设置的两个阻挡块组成，所述安装架（30）与阻挡块（40）的同侧设有多个缓冲装置（50），通过缓冲装置（50）与阻挡块（40）的配合，来辅助限制所述磁流体（23）内套设的轴（24）的旋转角度，以此来限制所述载台板（1）的旋转角度。

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