芯纳(扬州)微电子设备有限公司戚增欣获国家专利权
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龙图腾网获悉芯纳(扬州)微电子设备有限公司申请的专利一种用于高真空镀膜设备的观察窗磁吸挡板结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223268746U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422598228.7,技术领域涉及:C23C14/52;该实用新型一种用于高真空镀膜设备的观察窗磁吸挡板结构是由戚增欣设计研发完成,并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于高真空镀膜设备的观察窗磁吸挡板结构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了镀膜设备技术领域内的一种用于高真空镀膜设备的观察窗磁吸挡板结构,其安装在高真空镀膜设备的门板上,包括:挡板座,安装门板上,用以安装挡板轴;挡板轴,安装在挡板座内部的空腔内,用以安装挡板并带动其转动,其可转动的安装在所述空降内,前端连接挡板,后端安装有内磁吸块;挡板,安装在挡板轴的前端,通过旋转遮挡观察窗;旋转把手,套设在挡板座上,其内部设有外磁吸块,本实用新型采用磁吸的方式控制挡板转动,解决了动密封结构易真空漏气的问题。
本实用新型一种用于高真空镀膜设备的观察窗磁吸挡板结构在权利要求书中公布了:1.一种用于高真空镀膜设备的观察窗磁吸挡板结构,其安装在高真空镀膜设备的门板(700)上,其特征在于,包括: 挡板座(100),安装门板(700)上,用以安装挡板轴(200); 挡板轴(200),安装在挡板座(100)内部的空腔内,用以安装挡板(300)并带动其转动,其可转动的安装在所述空腔内,前端连接挡板(300),后端安装有内磁铁块(202; 挡板(300),安装在挡板轴(200)的前端,通过旋转遮挡观察窗(701); 旋转把手(500),套设在挡板座(100)上,其内部设有外磁铁块(602)。
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