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拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司周欢获国家专利权

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龙图腾网获悉拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司申请的专利自动化上下料装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223273244U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422580363.9,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型自动化上下料装置是由周欢;董雪迪;李勃;林佳继设计研发完成,并于2024-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。

自动化上下料装置在说明书摘要公布了:本申请涉及半导体加工设备技术领域,具体公开一种自动化上下料装置,包括第一驱动件和搬运机构。搬运机构包括舟组件、定位组件以及吸取组件,舟组件包括两个以上舟输送线,舟输送线沿第一方向间隔分布。定位组件包括两个以上定位输送线,定位输送线沿第一方向间隔分布。吸取组件包括吸盘组,吸盘组与第一驱动件连接。石英舟组件中两个以上舟输送线交替移动舟本体,定位组件中两个以上定位输送线交替移动花篮。自动化上下料装置通过舟组件、定位组件以及吸取组件的配合,可以实现在舟本体与花篮间搬运半片。舟组件中两个以上舟输送线交替移动舟本体,定位组件中两个以上定位输送线交替移动花篮,有助于减少吸取组件的停机时间,提高工作效率。

本实用新型自动化上下料装置在权利要求书中公布了:1.一种自动化上下料装置,用于在舟本体与花篮间搬运半片,其特征在于,所述自动化上下料装置包括第一驱动件和搬运机构,所述搬运机构包括: 舟组件,包括两个以上舟输送线,所述舟输送线沿第一方向间隔分布,并被配置承载所述舟本体沿第二方向移动,所述第一方向与所述第二方向在水平面内相交; 定位组件,包括两个以上定位输送线,所述定位输送线沿所述第一方向间隔分布,且被配置承载所述花篮沿所述第二方向移动;和 吸取组件,包括吸盘组,所述吸盘组与所述第一驱动件连接,所述第一驱动件被配置为驱动所述吸盘组移动,使所述吸盘组在所述舟本体与所述花篮间搬运半片; 其中,所述舟组件中两个以上所述舟输送线交替移动所述舟本体,所述定位组件中两个以上所述定位输送线交替移动所述花篮。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市锡山区锡北东青河路3;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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