芯恩(青岛)集成电路有限公司田建辉获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利晶圆处理设备及晶圆处理系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223273227U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422568936.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型晶圆处理设备及晶圆处理系统是由田建辉;岳超俊设计研发完成，并于2024-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆处理设备及晶圆处理系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆处理设备及晶圆处理系统，晶圆处理设备包括第一机械手臂、第二机械手臂、第一转换腔室、第二转换腔室以及真空腔室，第一机械手臂用于将晶圆转移到真空腔室，或者将晶圆自真空腔室转出，真空腔室内设置有基座和设置于基座上的边缘环，第二机械手臂用于将边缘环自真空腔室转移到第二转换腔室或者将边缘环自第二转换腔室转移到真空腔室。该晶圆处理设备当边缘环使用时间到达上限需要更换或者维护保养时，减少了真空腔室的开腔时间，以及复机异常的风险，提高了生产效率。
本实用新型晶圆处理设备及晶圆处理系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆处理设备，其特征在于，包括： 第一机械手臂、第二机械手臂、第一转换腔室、第二转换腔室以及真空腔室； 所述第一机械手臂用于将晶圆自所述真空腔室转移到所述第一转换腔室或者将晶圆自所述第一转换腔室转移到所述真空腔室； 所述真空腔室内设置有基座和设置于所述基座上的边缘环，所述第二机械手臂用于将所述边缘环自所述真空腔室转移到所述第二转换腔室或者将所述边缘环自所述第二转换腔室转移到所述真空腔室。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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