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龙图腾网获悉长春长光圆辰微电子技术有限公司申请的专利一种晶圆对中机构及半导体加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223273242U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422569797.9，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种晶圆对中机构及半导体加工设备是由孙鹏达;于乐;张耀庚;王园;张昊宇设计研发完成，并于2024-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆对中机构及半导体加工设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种晶圆对中机构及半导体加工设备，晶圆对中机构包括：沿竖直方向延伸的升降组件；两个对中单元，每个对中单元包括：推手组件、可调阻尼、驱动组件以及基座，推手组件、可调阻尼以及驱动组件设置于基座顶面，推手组件朝向升降组件的一端具有推手，驱动组件可带动推手组件沿第一方向运动，以调节两个推手之间的距离，可调阻尼的自由端与推手组件相连接，可调阻尼的固定端固定在基座顶面，固定端相对于基座在第一方向上的位置可调，以调整两个推手之间的最小距离；传感器，传感器位于升降组件的一侧。本实用新型至少有利于对多种型号的晶圆进行精确稳定的对中操作。

本实用新型一种晶圆对中机构及半导体加工设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆对中机构，其特征在于，包括： 沿竖直方向延伸的升降组件，所述升降组件的顶部用于承载晶圆，所述升降组件用于带动所述晶圆旋转和进行升降运动； 相对设置的两个对中单元，且两个所述对中单元位于所述升降组件在第一方向上的相对两侧； 每个所述对中单元包括：推手组件、可调阻尼、驱动组件以及基座，所述推手组件、所述可调阻尼以及所述驱动组件设置于所述基座顶面，所述推手组件朝向所述升降组件的一端具有推手，所述推手组件远离所述升降组件的一端与所述驱动组件相连接，所述驱动组件可带动所述推手组件沿所述第一方向运动，以调节两个所述推手之间的距离，所述可调阻尼的自由端与所述推手组件相连接，所述可调阻尼的固定端固定在所述基座顶面，所述自由端指向所述固定端的方向为所述驱动组件指向所述推手组件的方向，所述固定端相对于所述基座在所述第一方向上的位置可调，以调整两个所述推手之间的最小距离； 传感器，所述传感器位于所述升降组件的一侧，所述传感器用于识别所述晶圆边缘的定位缺口。

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