无锡台飞精密制造有限公司张霁晨获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡台飞精密制造有限公司申请的专利一种具有管道加热功能的半导体制造装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223273224U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422518651.1，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种具有管道加热功能的半导体制造装置是由张霁晨;张乾设计研发完成，并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有管道加热功能的半导体制造装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造相关领域，特别是涉及一种具有管道加热功能的半导体制造装置，包括装置本体，所述装置本体内包含半导体制造机、加热组件和调节组件，所述半导体制造机一侧设置有排气管，所述加热组件套设在排气管外侧，所述调节组件设置在加热组件下端，所述加热组件包含上套壳和下套壳，所述上套壳和下套壳内分别开设有内凹槽，所述调节组件包含固定套筒，所述固定套筒上端转动连接有螺母，能够实现对排气管的加热，使前级管道内壁的温度保持恒定，便于对加热管进行拆装，便于后期检修维护，能够将支撑架贴合在套壳底部，便于实现对加热组件的辅助支撑操作，便于保持加热组件的稳定性，提高了装置的实用性。
本实用新型一种具有管道加热功能的半导体制造装置在权利要求书中公布了：1.一种具有管道加热功能的半导体制造装置，其特征在于：包括装置本体1，所述装置本体1内包含半导体制造机2、加热组件4和调节组件5，所述半导体制造机2一侧设置有排气管3，所述加热组件4套设在排气管3外侧，所述调节组件5设置在加热组件4下端。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡台飞精密制造有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市蠡园开发区06-4地块(滴翠路100号)3幢4层407；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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