中晟半导体(上海)有限公司李瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉中晟半导体(上海)有限公司申请的专利气体输送装置以及化学气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223268755U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422518393.7，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型气体输送装置以及化学气相沉积设备是由李瑞;许燚南设计研发完成，并于2024-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体输送装置以及化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本申请涉及化学气相沉积工艺技术领域，具体提供气体输送装置以及化学气相沉积设备。该气体输送装置包括：运行管路、排气管路、导气管路、至少一个气体输送管路、第一流量控制器和第二流量控制器。通过导气管路可以将部分运载气体直接输送至反应腔，以降低其余管路的流量和压力。并通过第一流量控制器对运行管路的运行流量或者排气管路的排气流量进行控制，通过第二流量控制器对导气管路内的运载气体流量进行控制，可以提高与各个气体输送管路所对应的工艺气体汇入流量和压力的可调控阈值，进而降低了对管路压力和管路流量的调节难度，提高了管路压力和管路流量的稳定性。
本实用新型气体输送装置以及化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种气体输送装置，其特征在于，所述装置包括：运行管路、排气管路、导气管路、至少一个气体输送管路、第一流量控制器和第二流量控制器； 所述运行管路、所述排气管路和所述导气管路的一端连接运载气体输入端；所述运行管路的另一端连接反应腔，所述排气管路的另一端连接废气处理设备，所述导气管路的另一端连接所述运行管路靠近所述反应腔的一端；所述气体输送管路的一端连接工艺气体输入端，另一端接入所述运行管路或者所述排气管路； 所述第一流量控制器接入所述运行管路或者所述排气管路；其中，所述第一流量控制器用于控制所述运行管路的运行流量或者所述排气管路的排气流量； 所述第二流量控制器接入所述导气管路；其中，所述第二流量控制器用于控制所述导气管路的导气流量。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中晟半导体(上海)有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区(上海)自由贸易试验区临港新片区妙香路2189号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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